Estudo das propriedades estruturais e ópticas em materiais nanoestruturados a base de silício (2009)
- Authors:
- Autor USP: RIBEIRO, MÁRCIA - EP
- Unidade: EP
- Sigla do Departamento: PSI
- Subjects: SILÍCIO; FILMES FINOS; FOTOLUMINESCÊNCIA
- Language: Português
- Abstract: Este trabalho de doutorado visa dar continuidade às pesquisas realizadas no mestrado, a saber, a caracterização e estudo das propriedades estruturais e luminescentes de filmes de oxinitreto de silício (SiOxNy:H) ricos em silício depositados pela técnica de deposição química a vapor assistida por plasma a baixa temperatura (PECVD). Os resultados obtidos no mestrado indicaram que os filmes de SiOxNy:H ricos em silício apresentam emissão luminescente na faixa do visível cuja intensidade e freqüência de emissão estão em correlação com a concentração de silício. Resultados similares em sistemas equivalentes já têm sido reportados na literatura, mas ainda há controvérsia a respeito da origem da emissão luminescente que tem sido atribuída a efeitos de tamanho quântico em aglomerados nanométricos de silício presentes no material embebidos numa matriz isolante de SiOxNy:H bem como a estados radiativos na interface dos aglomerados com a matriz isolante. Neste estudo pretende-se estudar a luminescência analisando em maior detalhe esses dois fenômenos. Para tal, foram produzidas multicamadas de silício, de espessuras variáveis de poucos nanômetros, alternadas com camadas de espessura fixa de óxido de silício ou nitreto de silício. Os resultados obtidos para os filmes de oxinitreto de silício ricos em silício são correlacionados com os resultados das multicamadas com o intento de auxiliar na análise e esclarecer os fenômenos responsáveis pela emissão luminescente. Para ascaracterizações ópticas e estruturais foram utilizadas as técnicas de absorção óptica no UV-Vis, absorção no infravermelho (FTIR), espectroscopia Raman, fotoluminescência (PL), espectroscopia de absorção de raios x próximos à borda do silício (XANES), e microscopia eletrônica de transmissão de alta resolução (HRTEM)
- Imprenta:
- Data da defesa: 11.05.2009
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ABNT
RIBEIRO, Márcia. Estudo das propriedades estruturais e ópticas em materiais nanoestruturados a base de silício. 2009. Tese (Doutorado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2009. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-20072009-155431/. Acesso em: 28 mar. 2024. -
APA
Ribeiro, M. (2009). Estudo das propriedades estruturais e ópticas em materiais nanoestruturados a base de silício (Tese (Doutorado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-20072009-155431/ -
NLM
Ribeiro M. Estudo das propriedades estruturais e ópticas em materiais nanoestruturados a base de silício [Internet]. 2009 ;[citado 2024 mar. 28 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-20072009-155431/ -
Vancouver
Ribeiro M. Estudo das propriedades estruturais e ópticas em materiais nanoestruturados a base de silício [Internet]. 2009 ;[citado 2024 mar. 28 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-20072009-155431/
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