Post-silicidation annealing effects on electrical and structural properties of NiPt germanosilicide (2008)
- Authors:
- Autor USP: SANTOS FILHO, SEBASTIAO GOMES DOS - EP
- Unidade: EP
- Assunto: MICROELETRÔNICA
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Publisher: The Electrochemical Society
- Publisher place: Pennington
- Date published: 2008
- Source:
- Título do periódico: SBMICRO 2008: Anais
- ISSN: 1938-5862
- Conference titles: International Symposium on Microelectronics Technology and Devices SBMICRO
-
ABNT
ELEOTÉRIO, Marcos; DOI, Ioshiaki; FIGUEROA, Robinson; DINIZ, José Alexandre; SANTOS FILHO, Sebastião Gomes dos. Post-silicidation annealing effects on electrical and structural properties of NiPt germanosilicide. Anais.. Pennington: The Electrochemical Society, 2008. -
APA
Eleotério, M., Doi, I., Figueroa, R., Diniz, J. A., & Santos Filho, S. G. dos. (2008). Post-silicidation annealing effects on electrical and structural properties of NiPt germanosilicide. In SBMICRO 2008: Anais. Pennington: The Electrochemical Society. -
NLM
Eleotério M, Doi I, Figueroa R, Diniz JA, Santos Filho SG dos. Post-silicidation annealing effects on electrical and structural properties of NiPt germanosilicide. SBMICRO 2008: Anais. 2008 ; -
Vancouver
Eleotério M, Doi I, Figueroa R, Diniz JA, Santos Filho SG dos. Post-silicidation annealing effects on electrical and structural properties of NiPt germanosilicide. SBMICRO 2008: Anais. 2008 ; - Morphological characterization of electroless nickel films onto aluminum surfaces
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