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Sensor de imagem para detecção de gases (2008)

  • Authors:
  • Autor USP: BRAGA, MAURO SERGIO - EP
  • Unidade: EP
  • Sigla do Departamento: PSI
  • Subjects: DISPOSITIVOS ELETRÔNICOS; SENSOR; CONTROLADORES PROGRAMÁVEIS
  • Language: Português
  • Abstract: O objetivo do presente trabalho é o desenvolvimento de um dispositivo MOS como sensor de imagem química para a detecção e classificação de gases de hidrogênio e amônia através da técnica de escaneamento de luz pulsada (TELP). O dispositivo MOS foi fabricado sobre substrato de silício (100) e resistividade de 10 Ohm-cm. A porta do dispositivo foi constituída de um eletrodo bimetálico de Au-Pd com espessura nanométrica. Foi proposto um sistema automático de posicionamento X Y para o escaneamento do feixe de luz pulsada baseado no controle PID e no software Labview®. O processo de aquisição de dados foi também automatizado via instrumentação virtual definida pelo software Labview®. A partir das curvas CxV dos capacitores MOS foram extraídos os parâmetros estruturais dos dispositivos mostrando-se estes valores concordantes com os valores definidos no projeto inicial. Adicionalmente foi determinada a largura máxima da camada de depleção sendo este parâmetro importante na sensibilidade da resposta do sensor. O dispositivo MOS em ambiente inerte (N2) apresentou máxima sensibilidade de fotocorrente para polarização de 0,6 V correspondente à máxima largura de depleção. Em ambientes de H2 e NH3, o máximo de sensibilidade foi deslocado para tensões menores a 0,6 V atribuindo-se este fato à adsorção de átomos de Hidrogênio na interface metal/SiO2. As imagens químicas obtidas a partir da resposta do sensor MOS em modo de operação TELP para ambientes de H2 e NH3, respectivamente, apresentaram padrões característicos a cada tipo de gás independentemente da concentração utilizada permitindo a classificação plena destes gases. Os resultados obtidos no presente trabalho sugerem a possibilidade de implementação de um sistema de nariz eletrônico apenas utilizando um único sensor.
  • Imprenta:
  • Data da defesa: 28.02.2008
  • Acesso à fonte
    How to cite
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    • ABNT

      BRAGA, Mauro Sergio; SALCEDO, Walter Jaimes. Sensor de imagem para detecção de gases. 2008.Universidade de São Paulo, São Paulo, 2008. Disponível em: < http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-28032008-175311/ >.
    • APA

      Braga, M. S., & Salcedo, W. J. (2008). Sensor de imagem para detecção de gases. Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-28032008-175311/
    • NLM

      Braga MS, Salcedo WJ. Sensor de imagem para detecção de gases [Internet]. 2008 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-28032008-175311/
    • Vancouver

      Braga MS, Salcedo WJ. Sensor de imagem para detecção de gases [Internet]. 2008 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-28032008-175311/


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