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Fabricação em canaletas em substratos de silício para acoplamento fibra-guia utilizando siliceto de níquel como material de máscara (2007)

  • Authors:
  • Autor USP: MASCARO, AMANDA ROSSI - EP
  • Unidade: EP
  • Sigla do Departamento: PSI
  • Assunto: MICROELETRÔNICA
  • Language: Português
  • Abstract: Neste trabalho, apresentamos um novo processo de fabricação para a obtenção de canaletas em V em substratos de silício monocristalino (100) para um acoplamento óptico utilizando siliceto de níquel como material de máscara. O filme de siliceto de níquel (200nm de espessura) foi obtido por processos de evaporação térmica e posterior recozimento a baixas temperaturas (200 e 250°C). As canaletas em V (com profundidade de 60 µm) foram fabricadas através do processo de corrosão anisotrópica, utilizando uma solução de KOH (27%-60°C). Durante este processo, a taxa de corrosão do substrato de silício pela solução de KOH foi estimada como sendo 33.1 µm/h. A composição da camada de siliceto de níquel obtida foi investigada utilizando a técnica RBS, que nos forneceu a estequiometria Ni2Si. A rugosidade de filmes de níquel e de Ni2Si foi medida pela técnica AFM. Uma análise SEM foi feita com as estruturas obtidas. Após o processamento das canaletas em V, elas foram alinhadas com um guia de onda simples de teste para um futuro acoplamento óptico.
  • Imprenta:
  • Data da defesa: 09.11.2007
  • Acesso à fonte
    How to cite
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    • ABNT

      MASCARO, Amanda Rossi; MORIMOTO, Nilton Itiro. Fabricação em canaletas em substratos de silício para acoplamento fibra-guia utilizando siliceto de níquel como material de máscara. 2007.Universidade de São Paulo, São Paulo, 2007. Disponível em: < http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-14012008-103221/ >.
    • APA

      Mascaro, A. R., & Morimoto, N. I. (2007). Fabricação em canaletas em substratos de silício para acoplamento fibra-guia utilizando siliceto de níquel como material de máscara. Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-14012008-103221/
    • NLM

      Mascaro AR, Morimoto NI. Fabricação em canaletas em substratos de silício para acoplamento fibra-guia utilizando siliceto de níquel como material de máscara [Internet]. 2007 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-14012008-103221/
    • Vancouver

      Mascaro AR, Morimoto NI. Fabricação em canaletas em substratos de silício para acoplamento fibra-guia utilizando siliceto de níquel como material de máscara [Internet]. 2007 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-14012008-103221/

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