Tese

Análise quantitativa na fidelidade de microestruturas em réplicas de diamante e recobrimentos de DLC (2006)

• Authors:
  • Martins, Deilton Reis
  • Salvadori, Maria Cecília Barbosa da Silveira (Orientador)
• Autor USP: MARTINS, DEILTON REIS - EP
• Unidade: EP
• Sigla do Departamento: PSI
• Subjects: FILMES FINOS; DIAMANTE
• Language: Português
• Abstract: Uma das técnicas para fabricar microestruturas em diamante é usar moldes em silício microfabricados. Assim, microestruturas são produzidas em laminas de silício, um filme de diamante é depositado sobre essa lamina e o silício é corroído. Dessa forma é possível se obter réplicas de diamante das microestruturas que estavam presentes na superfície do molde de silício. Nesta técnica é muito importante a fidelidade morfológica da réplica de diamante, quando comparada ao molde de silício, previamente microfabricado. Um dos objetivos deste trabalho é analisar quantitativamente a fidelidade de reprodução de microestruturas em filmes de diamante, utilizando moldes de silício microfabricados. Nossos resultados mostram que a rugosidade das réplicas de diamante é sistematicamente maior que a rugosidade dos moldes de silício. Medindo degraus em escala de centenas de nanômetros, o erro na reprodução morfológica está entre 6 e 11 %. No caso de medidas de degraus em escala de dezenas de nanômetros, o erro na reprodução é de aproximadamente 18 %. O segundo objetivo deste trabalho consiste em comparar a variação da rugosidade de uma superfície devido ao recobrimento com filmes de DLC. Os resultados sugerem que, para substratos com rugosidade original de centenas de nanômetros, a variação da rugosidade tende a aumentar com a espessura do filme de DLC até um valor máximo, a partir do qual ela tende a diminuir. Para substratos com rugosidade original de alguns poucos nanômetros,a variação da rugosidade oscila aleatoriamente, não apresentando tendências de aumentar ou diminuir com a espessura do filme de DLC. Finalmente, a última parte desta Tese foi fabricar um microbocal de diamante utilizando a técnica de moldes microfabricados em silício
• Imprenta:
  • Publisher place: São Paulo
  • Date published: 2006
• Data da defesa: 25.09.2006


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How to cite

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• ABNT

  MARTINS, Deilton Reis. Análise quantitativa na fidelidade de microestruturas em réplicas de diamante e recobrimentos de DLC. 2006. Tese (Doutorado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2006. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11122006-134927/. Acesso em: 19 set. 2024.

• APA

  Martins, D. R. (2006). Análise quantitativa na fidelidade de microestruturas em réplicas de diamante e recobrimentos de DLC (Tese (Doutorado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11122006-134927/

• NLM

  Martins DR. Análise quantitativa na fidelidade de microestruturas em réplicas de diamante e recobrimentos de DLC [Internet]. 2006 ;[citado 2024 set. 19 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11122006-134927/

• Vancouver

  Martins DR. Análise quantitativa na fidelidade de microestruturas em réplicas de diamante e recobrimentos de DLC [Internet]. 2006 ;[citado 2024 set. 19 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11122006-134927/

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