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Projeto, construção e medidas com um sistema de sonda eletrostática para medidas de fluxos de íons (2006)

  • Authors:
  • Autor USP: MORAES, LAURA SWART DE - EP
  • Unidade: EP
  • Sigla do Departamento: PSI
  • Subjects: PLASMA (MICROELETRÔNICA); ÍONS
  • Language: Português
  • Abstract: Utilizamos um sistema de sonda eletrostática planar, que permite determinar o fluxo de íons positivos, a concentração de íons positivos e a energia efetiva dos elétrons em um plasma, para caracterizar descargas RF acopladas capacitivamente e descargas RF acopladas indutivamente. Os gases usados foram argônio, oxigênio, e misturas de argônio com tetrafluoreto de carbono e hexafluoreto de enxofre. Em todos eles, observaram-se aumentos nas concentrações e fluxos de íons positivos ao aumentar as potências aplicadas no eletrodo e/ou na bobina. Incrementos significativos nesses parâmetros foram observados para alguns plasmas ao passar para modo de acoplamento indutivo. As relações entre os parâmetros do plasma e as potências aplicadas no eletrodo e/ou na bobina variaram de acordo com a energia de ionização e eletronegatividade dos gases. Por exemplo, devido à menor energia de ionização, os plasmas de tetrafluoreto de carbono e os de hexafluoreto de enxofre proporcionaram plasmas de maiores densidades, com energias efetivas dos elétrons mais altas do que os plasmas de argônio e de oxigênio. Porém, por serem mais eletronegativos ofereceram maior resistência à ocorrência do acoplamento indutivo
  • Imprenta:
  • Data da defesa: 06.02.2006

  • How to cite
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    • ABNT

      MORAES, Laura Swart de; VERDONCK, Patrick Bernard. Projeto, construção e medidas com um sistema de sonda eletrostática para medidas de fluxos de íons. 2006.Universidade de São Paulo, São Paulo, 2006.
    • APA

      Moraes, L. S. de, & Verdonck, P. B. (2006). Projeto, construção e medidas com um sistema de sonda eletrostática para medidas de fluxos de íons. Universidade de São Paulo, São Paulo.
    • NLM

      Moraes LS de, Verdonck PB. Projeto, construção e medidas com um sistema de sonda eletrostática para medidas de fluxos de íons. 2006 ;
    • Vancouver

      Moraes LS de, Verdonck PB. Projeto, construção e medidas com um sistema de sonda eletrostática para medidas de fluxos de íons. 2006 ;

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