Projeto, construção e medidas com um sistema de sonda eletrostática para medidas de fluxos de íons (2006)
- Authors:
- Autor USP: MORAES, LAURA SWART DE - EP
- Unidade: EP
- Sigla do Departamento: PSI
- Subjects: PLASMA (MICROELETRÔNICA); ÍONS
- Language: Português
- Abstract: Utilizamos um sistema de sonda eletrostática planar, que permite determinar o fluxo de íons positivos, a concentração de íons positivos e a energia efetiva dos elétrons em um plasma, para caracterizar descargas RF acopladas capacitivamente e descargas RF acopladas indutivamente. Os gases usados foram argônio, oxigênio, e misturas de argônio com tetrafluoreto de carbono e hexafluoreto de enxofre. Em todos eles, observaram-se aumentos nas concentrações e fluxos de íons positivos ao aumentar as potências aplicadas no eletrodo e/ou na bobina. Incrementos significativos nesses parâmetros foram observados para alguns plasmas ao passar para modo de acoplamento indutivo. As relações entre os parâmetros do plasma e as potências aplicadas no eletrodo e/ou na bobina variaram de acordo com a energia de ionização e eletronegatividade dos gases. Por exemplo, devido à menor energia de ionização, os plasmas de tetrafluoreto de carbono e os de hexafluoreto de enxofre proporcionaram plasmas de maiores densidades, com energias efetivas dos elétrons mais altas do que os plasmas de argônio e de oxigênio. Porém, por serem mais eletronegativos ofereceram maior resistência à ocorrência do acoplamento indutivo
- Imprenta:
- Data da defesa: 06.02.2006
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ABNT
MORAES, Laura Swart de. Projeto, construção e medidas com um sistema de sonda eletrostática para medidas de fluxos de íons. 2006. Tese (Doutorado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2006. . Acesso em: 03 out. 2024. -
APA
Moraes, L. S. de. (2006). Projeto, construção e medidas com um sistema de sonda eletrostática para medidas de fluxos de íons (Tese (Doutorado). Universidade de São Paulo, São Paulo. -
NLM
Moraes LS de. Projeto, construção e medidas com um sistema de sonda eletrostática para medidas de fluxos de íons. 2006 ;[citado 2024 out. 03 ] -
Vancouver
Moraes LS de. Projeto, construção e medidas com um sistema de sonda eletrostática para medidas de fluxos de íons. 2006 ;[citado 2024 out. 03 ]
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