Plasmas fluorados com acoplamento indutivo (2006)
- Authors:
- Autor USP: RODRIGUES, BRUNO DA SILVA - EP
- Unidade: EP
- Sigla do Departamento: PSI
- Subjects: PLASMA (MICROELETRÔNICA); MEDIDAS ELÉTRICAS; ESPECTROMETRIA; ARGÔNIO; SILÍCIO; CORROSÃO
- Language: Português
- Abstract: Este trabalho de mestrado tem o intuito de caracterizar plasmas do tipo indutivo (ICP). Para a caracterização do plasma, foram usadas técnicas de espectroscopia e medidas elétricas. Foram analisados plasmas de Argônio, por ser um gás inerte, oxigênio, por ser um pouco eletronegativo, SF6, por ser um gás muito eletronegativo e útil para a corrosão de silício, misturas de oxigênio e SF6 com Ar, CF4 e misturas de CF4 com Ar. Observou-se que obtêm-se plasmas indutivamente acoplados quando se cria uma condição de concentração mínima de elétrons livres no plasma. Isso acontece quando há uma certa potência aplicada no eletrodo e outra potência aplicada na bobina. Quanto menos eletronegativo o gás, menores são estas potências. Nos casos estudados significa que é mais fácil obter acoplamento indutivo com Ar puro, depois com as misturas dos gases. Em nosso reator foi mais difícil conseguir obter plasmas indutivamente acoplados com O2 e SF6 puros, pois não tivemos condições de "hardware" para aplicar as potências altas as suficientes para criar o plasma indutivo. Também estudamos dois materiais como material de eletrodo, estanho e alumínio e observamos que para o SF6 há uma maior concentração de F com eletrodo de Sn enquanto para CF4 a concentração de F e maior com eletrodo de Al
- Imprenta:
- Data da defesa: 06.02.2006
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ABNT
RODRIGUES, Bruno da Silva. Plasmas fluorados com acoplamento indutivo. 2006. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2006. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-26052006-114707/. Acesso em: 04 ago. 2025. -
APA
Rodrigues, B. da S. (2006). Plasmas fluorados com acoplamento indutivo (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-26052006-114707/ -
NLM
Rodrigues B da S. Plasmas fluorados com acoplamento indutivo [Internet]. 2006 ;[citado 2025 ago. 04 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-26052006-114707/ -
Vancouver
Rodrigues B da S. Plasmas fluorados com acoplamento indutivo [Internet]. 2006 ;[citado 2025 ago. 04 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-26052006-114707/
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