Microestruturas poliméricas de PMMA e sua aplicação em sistemas micro-optoeletromecânicos (MOEMS) (2005)
- Authors:
- Autor USP: ARASHIRO, EMERSON YASUYUKI - EP
- Unidade: EP
- Sigla do Departamento: PSI
- Subjects: PROCESSOS DE FABRICAÇÃO; MICROELETRÔNICA
- Language: Português
- Abstract: Neste trabalho apresentamos um estudo dos diversos processos empregados na fabricação de microestruturas de poli metacrilato de metila (PMMA), visando aplicações futuras em sistemas micro eletromecânicos (MEMS) e sistemas micro-opto-eletromecânicos (MOEMS). Estes processos envolveram a deposição por spin-coating, a corrosão de filmes de PMMA por plasma de oxigênio, e é proposta uma nova abordagem da técnica de Casting para a fabricação de microestruturas com cavidades internas, o micro-Casting, uma das contribuições deste trabalho para a obtenção de membranas corrugadas com forte geometria 3D. Paralelamente aos processos de fabricação, a modificação superficial de filmes de PMMA também foi explorada através de sua exposição em plasmas de gases fluorados (CHF3). Parâmetros como a potência de RF aplicada, pressão da câmara e o fluxo do gás foram estudados com o intuito de se obter a melhor condição de taxa de deposição de um filme com monômeros polimerizados por plasma. A partir dos processos estudados, foram desenvolvidas microestruturas testes de PMMA para aplicações específicas, como as guias de ondas formadas por um núcleo de PMMA e um filme parcialmente fluorado como camada de cobertura depositada por plasma de gás fluorado e para a utilização elementos ópticos difrativos. Por final, também é apresentado um estudo inicial para a fabricação de microestruturas utilizando uma combinação de ambas as técnicas, micro-Casting e corrosão por plasma. Osresultados obtidos mostram uma importante contribuição, onde através da combinação destas duas técnicas é possível, por exemplo, a fabricação de guias de ondas capazes de conduzir o feixe de luz nos eixos x, y, z
- Imprenta:
- Data da defesa: 15.12.2005
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ABNT
ARASHIRO, Emerson Yasuyuki. Microestruturas poliméricas de PMMA e sua aplicação em sistemas micro-optoeletromecânicos (MOEMS). 2005. Tese (Doutorado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2005. . Acesso em: 20 jan. 2026. -
APA
Arashiro, E. Y. (2005). Microestruturas poliméricas de PMMA e sua aplicação em sistemas micro-optoeletromecânicos (MOEMS) (Tese (Doutorado). Universidade de São Paulo, São Paulo. -
NLM
Arashiro EY. Microestruturas poliméricas de PMMA e sua aplicação em sistemas micro-optoeletromecânicos (MOEMS). 2005 ;[citado 2026 jan. 20 ] -
Vancouver
Arashiro EY. Microestruturas poliméricas de PMMA e sua aplicação em sistemas micro-optoeletromecânicos (MOEMS). 2005 ;[citado 2026 jan. 20 ]
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