Multiple phase silicon in submicrometer chips removed by diamond turning (2005)
- Authors:
- USP affiliated authors: JASINEVICIUS, RENATO GOULART - EESC ; PORTO, ARTHUR JOSE VIEIRA - EESC ; DUDUCH, JAIME GILBERTO - EESC
- Unidade: EESC
- DOI: 10.1590/s1678-58782005000400013
- Subjects: MUDANÇA DE FASE; ESPECTROSCOPIA RAMAN
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Publisher place: Rio de Janeiro
- Date published: 2005
- Source:
- Título: Journal of the Brazilian Society of Mechanical Sciences and Engineering
- ISSN: 1678-5878
- Volume/Número/Paginação/Ano: v. 27, n. 4, p. 440-448, Oct./Dec. 2005
- Este periódico é de assinatura
- Este artigo é de acesso aberto
- URL de acesso aberto
- Cor do Acesso Aberto: hybrid
- Licença: cc-by-nc
-
ABNT
JASINEVICIUS, Renato Goulart et al. Multiple phase silicon in submicrometer chips removed by diamond turning. Journal of the Brazilian Society of Mechanical Sciences and Engineering, v. 27, n. 4, p. 440-448, 2005Tradução . . Disponível em: https://doi.org/10.1590/s1678-58782005000400013. Acesso em: 11 jan. 2026. -
APA
Jasinevicius, R. G., Porto, A. J. V., Duduch, J. G., Pizani, P. S., Lanciotti Junior, F., & Santos, F. J. dos. (2005). Multiple phase silicon in submicrometer chips removed by diamond turning. Journal of the Brazilian Society of Mechanical Sciences and Engineering, 27( 4), 440-448. doi:10.1590/s1678-58782005000400013 -
NLM
Jasinevicius RG, Porto AJV, Duduch JG, Pizani PS, Lanciotti Junior F, Santos FJ dos. Multiple phase silicon in submicrometer chips removed by diamond turning [Internet]. Journal of the Brazilian Society of Mechanical Sciences and Engineering. 2005 ; 27( 4): 440-448.[citado 2026 jan. 11 ] Available from: https://doi.org/10.1590/s1678-58782005000400013 -
Vancouver
Jasinevicius RG, Porto AJV, Duduch JG, Pizani PS, Lanciotti Junior F, Santos FJ dos. Multiple phase silicon in submicrometer chips removed by diamond turning [Internet]. Journal of the Brazilian Society of Mechanical Sciences and Engineering. 2005 ; 27( 4): 440-448.[citado 2026 jan. 11 ] Available from: https://doi.org/10.1590/s1678-58782005000400013 - On the fabrication of Fresnel lens array in soft semiconductor crystal by use of ultraprecision diamond turning
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Informações sobre o DOI: 10.1590/s1678-58782005000400013 (Fonte: oaDOI API)
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