Estudo do uso de substratos de silício para fabricação de microsensores de posição (2004)
- Authors:
- Autor USP: IBRAHIM, RICARDO CURY - EP
- Unidade: EP
- Subjects: MECATRÔNICA; SENSORES ELETROMECÂNICOS; SILÍCIO; CERÂMICA PIEZELÉTRICA
- Language: Português
- Imprenta:
- Source:
- Título: Resumos
- Conference titles: Simpósio Internacional de Iniciação Científica da Universidade de São Paulo
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ABNT
PEREIRA, Anderson Antunes. Estudo do uso de substratos de silício para fabricação de microsensores de posição. 2004, Anais.. São Paulo: USP, 2004. Disponível em: http://www.usp.br/siicusp/12osiicusp/index01.htm. Acesso em: 23 mar. 2025. -
APA
Pereira, A. A. (2004). Estudo do uso de substratos de silício para fabricação de microsensores de posição. In Resumos. São Paulo: USP. Recuperado de http://www.usp.br/siicusp/12osiicusp/index01.htm -
NLM
Pereira AA. Estudo do uso de substratos de silício para fabricação de microsensores de posição [Internet]. Resumos. 2004 ;[citado 2025 mar. 23 ] Available from: http://www.usp.br/siicusp/12osiicusp/index01.htm -
Vancouver
Pereira AA. Estudo do uso de substratos de silício para fabricação de microsensores de posição [Internet]. Resumos. 2004 ;[citado 2025 mar. 23 ] Available from: http://www.usp.br/siicusp/12osiicusp/index01.htm - Characterization of niobium-doped lead titanate thin films
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