Produção e caracterização de filmes finos de SnO2 evaporados por bombardeamento eletrônico (2004)
- Authors:
- Autor USP: ENGEL, WANDA GABRIEL PEREIRA - EP
- Unidade: EP
- Sigla do Departamento: PMT
- Assunto: FILMES FINOS (PREPARO;MÉTODOS)
- Language: Português
- Abstract: O objetivo deste trabalho foi produzir e caracterizar filmes finos de SnO2 pela técnica "Physical Vapor Deposition" (PVD) utilizando como fonte de aquecimento um feixe de elétrons. Esta técnica foi pouco utilizada, até o momento, para a confecção deste tipo de filme sendo raras as informações a respeito da sua estrutura e da microestrutura. A técnica de PVD permite a fabricação de filmes de baixa rugosidade em escalas nanométricas, característica importante na fabricação de acessório óptico-eletrônico. Os filmes foram caracterizados por Rutherford Backscatering Spectrometry (RBS), Microscopia de Força Atômica (AFM) e Difração de Raios X (XRD). A técnica RBS foi utilizada para se determinar a espessura e a composição química dos filmes, enquanto as técnicas de difração de raios X e microscopia de força atômica para estudar a evolução da estrutura e microestrutura e da morfologia dos filmes. A técnica mostrou-se eficiente quanto à homogeneidade e o baixo nível de contaminação dos filmes, que é garantido também pela qualidade do vácuo utilizado. Os filmes inicialmente amorfos e constituídos de SnO foram submetidos a tratamentos térmicos a 500°C em atmosferas de argônio ou oxigênio para se verificar a evolução da oxidação e da cristalização dos filmes que foram posteriormente analisados segundo as mesmas técnicas caracterização. Os filmes apresentaram cristalização após tratamento térmico sendo que a fase cristalina formada em atmosfera de argônio foi a do SnO e ematmosfera de oxigênio a do SnO2. Em ambas atmosferas houve uma substancial mudança da rugosidade dos filmes
- Imprenta:
- Data da defesa: 25.11.2004
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ABNT
ENGEL, Wanda Gabriel Pereira. Produção e caracterização de filmes finos de SnO2 evaporados por bombardeamento eletrônico. 2004. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2004. . Acesso em: 22 jan. 2026. -
APA
Engel, W. G. P. (2004). Produção e caracterização de filmes finos de SnO2 evaporados por bombardeamento eletrônico (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. -
NLM
Engel WGP. Produção e caracterização de filmes finos de SnO2 evaporados por bombardeamento eletrônico. 2004 ;[citado 2026 jan. 22 ] -
Vancouver
Engel WGP. Produção e caracterização de filmes finos de SnO2 evaporados por bombardeamento eletrônico. 2004 ;[citado 2026 jan. 22 ] - Estudos sobre efeitos topográficos em espectros RBS
- Target laboratory of the pelletron accelerator at the university of sao paulo
- Development work of carbon stripper foils
- Confecção de alvos nucleares
- The target laboratory of the Pelletron Accelerator's facilities
- Preparation and characterization of thin 'SnO IND.2' films, by RBS and AFM
- Laboratório de alvos nucleares
- Preparing thin-film standards for IBA analysis: an activity for beginners in research in applied nuclear physics
- Study of the sputtering process due to low energy ion implantation on thin 'AU' films
- Filmes finos de molibdenio - confeccao de alvos para espectroscopia nuclear
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