Influence of RF frequency on production of adsorbent organic films by PECVD (2003)
- Authors:
- USP affiliated authors: SILVA, MARIA LUCIA PEREIRA DA - EP ; DEMARQUETTE, NICOLE RAYMONDE - EP
- Unidades: EP; EP
- Subjects: MICROELETRÔNICA
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Publisher: Electrochemical Society
- Place of publication: Pennington
- Date published: 2003
- ISBN: 1-56677-389-X
- Source:
- Título do periódico: Microelectronic Technology and Devices SBMicro 2003
-
ABNT
NASCIMENTO FILHO, Antonio Pereira do; HAMANAKA, Cristian Otsuka; JESUS, Dosil Pereira de; SILVA, Maria Lucia Pereira da; DEMARQUETTE, Nicole Raymonde. Influence of RF frequency on production of adsorbent organic films by PECVD. In: Microelectronic Technology and Devices SBMicro 2003[S.l: s.n.], 2003. -
APA
Nascimento Filho, A. P. do, Hamanaka, C. O., Jesus, D. P. de, Silva, M. L. P. da, & Demarquette, N. R. (2003). Influence of RF frequency on production of adsorbent organic films by PECVD. In Microelectronic Technology and Devices SBMicro 2003. Pennington: Electrochemical Society. -
NLM
Nascimento Filho AP do, Hamanaka CO, Jesus DP de, Silva MLP da, Demarquette NR. Influence of RF frequency on production of adsorbent organic films by PECVD. In: Microelectronic Technology and Devices SBMicro 2003. Pennington: Electrochemical Society; 2003. -
Vancouver
Nascimento Filho AP do, Hamanaka CO, Jesus DP de, Silva MLP da, Demarquette NR. Influence of RF frequency on production of adsorbent organic films by PECVD. In: Microelectronic Technology and Devices SBMicro 2003. Pennington: Electrochemical Society; 2003. - Polymer production by plasma polymerization of oxygenated organic compounds
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