Influence of RF frequency on production of adsorbent organic films by PECVD (2003)
- Authors:
- USP affiliated authors: SILVA, MARIA LUCIA PEREIRA DA - EP ; DEMARQUETTE, NICOLE RAYMONDE - EP
- Unidade: EP
- Assunto: MICROELETRÔNICA
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Publisher: Electrochemical Society
- Publisher place: Pennington
- Date published: 2003
- Source:
-
ABNT
NASCIMENTO FILHO, Antonio Pereira do et al. Influence of RF frequency on production of adsorbent organic films by PECVD. Microelectronic Technology and Devices SBMicro 2003. Tradução . Pennington: Electrochemical Society, 2003. . Disponível em: https://repositorio.usp.br/directbitstream/1a91733e-6df9-42ae-8d53-c8ca7c43befe/DEMARQUETTE-2003-Influence_of_RF_frequency.pdf. Acesso em: 08 maio 2026. -
APA
Nascimento Filho, A. P. do, Hamanaka, C. O., Jesus, D. P. de, Silva, M. L. P. da, & Demarquette, N. R. (2003). Influence of RF frequency on production of adsorbent organic films by PECVD. In Microelectronic Technology and Devices SBMicro 2003. Pennington: Electrochemical Society. Recuperado de https://repositorio.usp.br/directbitstream/1a91733e-6df9-42ae-8d53-c8ca7c43befe/DEMARQUETTE-2003-Influence_of_RF_frequency.pdf -
NLM
Nascimento Filho AP do, Hamanaka CO, Jesus DP de, Silva MLP da, Demarquette NR. Influence of RF frequency on production of adsorbent organic films by PECVD [Internet]. In: Microelectronic Technology and Devices SBMicro 2003. Pennington: Electrochemical Society; 2003. [citado 2026 maio 08 ] Available from: https://repositorio.usp.br/directbitstream/1a91733e-6df9-42ae-8d53-c8ca7c43befe/DEMARQUETTE-2003-Influence_of_RF_frequency.pdf -
Vancouver
Nascimento Filho AP do, Hamanaka CO, Jesus DP de, Silva MLP da, Demarquette NR. Influence of RF frequency on production of adsorbent organic films by PECVD [Internet]. In: Microelectronic Technology and Devices SBMicro 2003. Pennington: Electrochemical Society; 2003. [citado 2026 maio 08 ] Available from: https://repositorio.usp.br/directbitstream/1a91733e-6df9-42ae-8d53-c8ca7c43befe/DEMARQUETTE-2003-Influence_of_RF_frequency.pdf - Plasma polymerization of hexamethyldisilazane for obtaining surface protection
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