Influence of RF frequency on production of adsorbent organic films by PECVD (2003)
- Authors:
- USP affiliated authors: SILVA, MARIA LUCIA PEREIRA DA - EP ; DEMARQUETTE, NICOLE RAYMONDE - EP
- Unidade: EP
- Assunto: MICROELETRÔNICA
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Publisher: Electrochemical Society
- Publisher place: Pennington
- Date published: 2003
- Source:
-
ABNT
NASCIMENTO FILHO, Antonio Pereira do et al. Influence of RF frequency on production of adsorbent organic films by PECVD. Microelectronic Technology and Devices SBMicro 2003. Tradução . Pennington: Electrochemical Society, 2003. . . Acesso em: 22 jan. 2026. -
APA
Nascimento Filho, A. P. do, Hamanaka, C. O., Jesus, D. P. de, Silva, M. L. P. da, & Demarquette, N. R. (2003). Influence of RF frequency on production of adsorbent organic films by PECVD. In Microelectronic Technology and Devices SBMicro 2003. Pennington: Electrochemical Society. -
NLM
Nascimento Filho AP do, Hamanaka CO, Jesus DP de, Silva MLP da, Demarquette NR. Influence of RF frequency on production of adsorbent organic films by PECVD. In: Microelectronic Technology and Devices SBMicro 2003. Pennington: Electrochemical Society; 2003. [citado 2026 jan. 22 ] -
Vancouver
Nascimento Filho AP do, Hamanaka CO, Jesus DP de, Silva MLP da, Demarquette NR. Influence of RF frequency on production of adsorbent organic films by PECVD. In: Microelectronic Technology and Devices SBMicro 2003. Pennington: Electrochemical Society; 2003. [citado 2026 jan. 22 ] - Modificação superficial usando hexametildissilazana: comparação entre processos úmidos e seco
- Deposição de filmes orgânicos sobre superfície hidrofóbica, utilizando polimerização por plasma
- Estudo da aderência de filmes obtidos a partir de 2-propanol
- Uso da deposição por plasma de hexametildissilazana e n-hexano, para obtenção de membrana seletivas
- Filmes finos obtidos pela polimerizaçao por plasma de ésteres : vantagens do uso de acetato de metila
- Utilizações de filmes poliméricos de teos
- Tratamento de grãos por técnica de plasma a frio
- Desenvolvimento de um procedimento para produção de filme de óxido de silício por PECVD a ser utilizado como protetor de polímeros
- Hydropholic plasma polymerized hexamethydisilazane thin films: characterization and uses
- Adição de reagentes à polimerização por plasma de éter etílico : variações nas propriedades dos filmes formados
How to cite
A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas
