Influence of RF frequency on production of adsorbent organic films by PECVD (2003)
- Authors:
- USP affiliated authors: SILVA, MARIA LUCIA PEREIRA DA - EP ; DEMARQUETTE, NICOLE RAYMONDE - EP
- School: EP
- Subject: MICROELETRÔNICA
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Publisher: Electrochemical Society
- Place of publication: Pennington
- Date published: 2003
- Source:
- Título do periódico: Microelectronic Technology and Devices SBMicro 2003
-
ABNT
NASCIMENTO FILHO, Antonio Pereira do et al. Influence of RF frequency on production of adsorbent organic films by PECVD. Microelectronic Technology and Devices SBMicro 2003. Tradução . Pennington: Electrochemical Society, 2003. . . Acesso em: 03 jul. 2022. -
APA
Nascimento Filho, A. P. do, Hamanaka, C. O., Jesus, D. P. de, Silva, M. L. P. da, & Demarquette, N. R. (2003). Influence of RF frequency on production of adsorbent organic films by PECVD. In Microelectronic Technology and Devices SBMicro 2003. Pennington: Electrochemical Society. -
NLM
Nascimento Filho AP do, Hamanaka CO, Jesus DP de, Silva MLP da, Demarquette NR. Influence of RF frequency on production of adsorbent organic films by PECVD. In: Microelectronic Technology and Devices SBMicro 2003. Pennington: Electrochemical Society; 2003. [citado 2022 jul. 03 ] -
Vancouver
Nascimento Filho AP do, Hamanaka CO, Jesus DP de, Silva MLP da, Demarquette NR. Influence of RF frequency on production of adsorbent organic films by PECVD. In: Microelectronic Technology and Devices SBMicro 2003. Pennington: Electrochemical Society; 2003. [citado 2022 jul. 03 ] - Filmes finos obtidos pela polimerizaçao por plasma de ésteres : vantagens do uso de acetato de metila
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