Tese

Estudo e caracterização de filmes de carbono do tipo diamante (Diamond Like Carbon-DLC) depositados pela técnica de sputtering reativo (2003)

• Authors:
  • Trippe, Simone Camargo
  • Mansano, Ronaldo Domingues (Orientador)
• Autor USP: TRIPPE, SIMONE CAMARGO - EP
• Unidade: EP
• Sigla do Departamento: PSI
• Subjects: CIRCUITOS INTEGRADOS ULSI; CARBONO; FILMES FINOS
• Language: Português
• Abstract: Os filmes de carbono amorfo tipo diamante chamados de diamond like carbon (DLC) e filmes de carbono amorfo dopados com flúor (a-C:F) apresentam características importantes que os tornam candidato ideal para muitas aplicações tecnológicas. Este material apresenta como principal característica um coeficiente dielétrico de valor baixo. A grande vantagem do seu uso é a possibilidade de obtenção de dispositivos menores sem a influência das capacitâncias parasitárias as quais são encontradas nos atuais dispositivos e impedem a sua melhor integração. A alta eletronegatividade do flúor tende a diminuir a constante dielétrica do filme com o aumento da concentração deste elemento no filme e os resultados mostram que a constante dielétrica é de aproximadamente 1,7. Neste trabalho iniciamos os estudos das propriedades dos filmes de DLC e a-C:F. Os filmes foram fabricados utilizando-se o processo de deposição física a vapor (Magnetron Sputtering reativo) variando-se a concentração de CF4 no plasma com o intuito de estudar a influência do flúor nas características dos filmes. Os gases utilizados para a obtenção do plasma reativo foram CF4+H2 e CF4+CH4 nos quais foram variadas a concentração de CF4 no plasma de 0 a 90 %. Os filmes produzidos em plasma reativo de CF4+H2 foram obtidos em pressão de processo de 5 mbar enquanto que os produzidos em plasma reativo de CF4+CH4 foram obtidos em diferentes pressões de processo. Esses filmes foram caracterizados utilizando-se a técnicade microscopia de força atômica, espectroscopia de infravermelho, espectroscopia de retrospalhamento de Rutherford, ERDA (Elastic Recoil Detection Analysis), medidas mecânicas e medidas elétricas em temperatura ambiente e em baixa temperatura
• Imprenta:
  • Publisher place: São Paulo
  • Date published: 2003
• Data da defesa: 06.10.2003

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How to cite

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• ABNT

  TRIPPE, Simone Camargo. Estudo e caracterização de filmes de carbono do tipo diamante (Diamond Like Carbon-DLC) depositados pela técnica de sputtering reativo. 2003. Tese (Doutorado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2003. . Acesso em: 24 jan. 2026.

• APA

  Trippe, S. C. (2003). Estudo e caracterização de filmes de carbono do tipo diamante (Diamond Like Carbon-DLC) depositados pela técnica de sputtering reativo (Tese (Doutorado). Universidade de São Paulo, São Paulo.

• NLM

  Trippe SC. Estudo e caracterização de filmes de carbono do tipo diamante (Diamond Like Carbon-DLC) depositados pela técnica de sputtering reativo. 2003 ;[citado 2026 jan. 24 ]

• Vancouver

  Trippe SC. Estudo e caracterização de filmes de carbono do tipo diamante (Diamond Like Carbon-DLC) depositados pela técnica de sputtering reativo. 2003 ;[citado 2026 jan. 24 ]

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