Tratamento de filmes de óxido de índio e estanho (ITO) para utilização em diodos poliméricos emissores de luz (2003)
- Authors:
- Autor USP: SANTOS, EMERSON ROBERTO - EP
- Unidade: EP
- Sigla do Departamento: PSI
- Subjects: MICROELETRÔNICA; DISPOSITIVOS ELETRÔNICOS
- Language: Português
- Abstract: Neste trabalho foram feitos tratamentos em filmes comerciais de Óxido de índio e Estanho (ITO) depositados sobre vidro e sobre PET (Polietileno Teraftalato) fornecidos por três empresas. Esses tratamentos foram realizados em dois processos distintos: através da técnica por Plasma de Oxigênio em reator do tipo RIE ("Reactive Ion Etching") e em solução química de água-régia com concentrações diluídas em: HN´O IND.3´ : HCl : Água Destilada = 1 : 3 : 20. Nas amostras utilizando Plasma de Oxigênio, variamos os parâmetros: pressão e tempo de processo mantendo constantes os parâmetros: fluxo do gás, potência de Rádio Freqüência e temperatura no interior da câmara. Em seguida realizamos as caracterizações: Resistência de Folha, Profilometria, Efeito Hall, Espectroscopia de U.V.-Visível e selecionamos também algumas amostras para obtenção de imagens em A.F.M. (Microscópio de Força Atômica). Para as amostras utilizando solução química de Água-Régia o único parâmetro usado nos processos foi o tempo de tratamento, após a realização dos tratamentos nós repetimos as análises anteriormente citadas
- Imprenta:
- Data da defesa: 01.09.2003
-
ABNT
SANTOS, Emerson Roberto. Tratamento de filmes de óxido de índio e estanho (ITO) para utilização em diodos poliméricos emissores de luz. 2003. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2003. . Acesso em: 01 out. 2024. -
APA
Santos, E. R. (2003). Tratamento de filmes de óxido de índio e estanho (ITO) para utilização em diodos poliméricos emissores de luz (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. -
NLM
Santos ER. Tratamento de filmes de óxido de índio e estanho (ITO) para utilização em diodos poliméricos emissores de luz. 2003 ;[citado 2024 out. 01 ] -
Vancouver
Santos ER. Tratamento de filmes de óxido de índio e estanho (ITO) para utilização em diodos poliméricos emissores de luz. 2003 ;[citado 2024 out. 01 ] - Estudos de tratamentos superficiais em substratos de óxidos transparentes condutivos para a fabricação de dispositivos poliméricos eletroluminescentes
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