Estudo e produção de ligas amorfas hidrogenadas de silício, oxigênio e nitrogênio, (a-SiOxNy:H), com aglomerados de silício, obtidas pela técnica de PECVD (2003)
- Authors:
- Autor USP: OLIVEIRA, RICARDO APARECIDO RODRIGUES DE - EP
- Unidade: EP
- Sigla do Departamento: PSI
- Subjects: FILMES FINOS; SILÍCIO
- Language: Português
- Abstract: Nos últimos anos a integração de dispositivos ópticos e microeletrônicos têm sido considerada de grande interesse, motivando estudos relacionados à produção de material com propriedades fololuminescentes, compatível com a presente tecnologia do Silício. Neste contexto, clusters de Silício embebidos em uma matrix isolante de Si´O IND.2´ tem se apresentado como um candidato ideal para estas aplicações devido a sua intensa emissão de luz no visível, apresentando-se como um promissor candidato para a produção de dispositivos como lasers e fotodiodos. Neste trabalho reportamos a fabricação e produção de filmes de Oxinitreto de Silício (a-SiOxNy:H), ricos em Silício, pela técnica de Deposição Química a Vapor Assistida por Plasma (PECVD), a baixas temperaturas. Filmes com diferentes concentrações de Oxigênio, Nitrogênio e Silício foram obtidos variando adequadamente a razão de fluxos gasosos, ´N IND.2´O/Si´H IND.4´. Estes filmes foram recozidos em temperaturas de 450, 550, 750 e 1000°C, em alto - vácuo e ambiente de Nitrogênio, durante 2 horas, para induzir a segregação de clusters ou aglomerados de Silício. Os filmes foram caracterizados por Espectroscopia de Retroespalhamento Rutherford (RBS), Espectroscopia no Infravermelho por Transformada Rápida de Fourier (FTIR), Absorção óptica no UV - Vis - IR próximo, Elipsometria, Perfilometria e Espectroscopia de Absorção no Raio - X próximo do limiar (XANES). Os resultados de RBS indicaram que os filmes, como depositados e depois de tratados termicamente, obtidos com relação de fluxos gasosos, ´N IND.2´O/Si´H IND.4´, menor que 0,5:1 são ricos em Silício, atingindo umaconcentração deste mesmo elemento, de até 63%. Ademais, os resultados obtidos por FTIR e XANES mostraram a segregação do material e a formação de aglomerados de Silício nos filmes como depositados e nos tratados termicamente, o que foi confirmado por medidas de fotolominescência (PL), onde bandas de luminescência na região de 1,6 a 1,9 eV foram observadas.
- Imprenta:
- Data da defesa: 12.03.2003
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ABNT
OLIVEIRA, Ricardo Aparecido Rodrigues de. Estudo e produção de ligas amorfas hidrogenadas de silício, oxigênio e nitrogênio, (a-SiOxNy:H), com aglomerados de silício, obtidas pela técnica de PECVD. 2003. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2003. Disponível em: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-02102024-110135/pt-br.php. Acesso em: 05 out. 2024. -
APA
Oliveira, R. A. R. de. (2003). Estudo e produção de ligas amorfas hidrogenadas de silício, oxigênio e nitrogênio, (a-SiOxNy:H), com aglomerados de silício, obtidas pela técnica de PECVD (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-02102024-110135/pt-br.php -
NLM
Oliveira RAR de. Estudo e produção de ligas amorfas hidrogenadas de silício, oxigênio e nitrogênio, (a-SiOxNy:H), com aglomerados de silício, obtidas pela técnica de PECVD [Internet]. 2003 ;[citado 2024 out. 05 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-02102024-110135/pt-br.php -
Vancouver
Oliveira RAR de. Estudo e produção de ligas amorfas hidrogenadas de silício, oxigênio e nitrogênio, (a-SiOxNy:H), com aglomerados de silício, obtidas pela técnica de PECVD [Internet]. 2003 ;[citado 2024 out. 05 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-02102024-110135/pt-br.php
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