Sensores térmicos e termopilhas (2002)
- Authors:
- Autor USP: OLIVEIRA, RONEY COSME LOPES - EP
- Unidade: EP
- Sigla do Departamento: PSI
- Subjects: CIRCUITOS INTEGRADOS (CONSTRUÇÃO); SILÍCIO
- Language: Português
- Abstract: O presente trabalho tem como objetivo, contribuir para o projeto, fabricação e caracterização de transdutores termoelétricos promovendo o desenvolvimento de termopilhas integradas utilizando-se para tanto da tecnologia de fabricação do silício para construção de circuitos integrados e microestruturas. Este trabalho foi dividido em três etapas, onde a primeira etapa consta de uma ampla revisão bibliográfica, objetivando através de uma abordagem sistemática e criteriosa, contemplar os fundamentos de sensores térmicos e termopilhas, materiais utilizados no projeto e fabricação de termopilhas integradas, estruturas com suas geometrias clássicas, os processos envolvidos na fabricação de termopilhas integradas e aplicações de dispositivos baseados no efeito Seebeck. A segunda etapa tem como objetivo, o projeto e fabricação de estruturas térmicas de teste, usando materiais e técnicas compatíveis com a tecnologia do silício. Finalmente, a terceira etapa tem por objetivo, a caracterização das estruturas com a obtenção dos parâmetros básicos, contribuindo dessa forma, para o projeto e fabricação de estruturas tais como termopares e termopilhas.
- Imprenta:
- Data da defesa: 28.06.2002
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ABNT
OLIVEIRA, Roney Cosme Lopes. Sensores térmicos e termopilhas. 2002. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2002. Disponível em: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11092024-145622/pt-br.php. Acesso em: 30 set. 2024. -
APA
Oliveira, R. C. L. (2002). Sensores térmicos e termopilhas (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11092024-145622/pt-br.php -
NLM
Oliveira RCL. Sensores térmicos e termopilhas [Internet]. 2002 ;[citado 2024 set. 30 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11092024-145622/pt-br.php -
Vancouver
Oliveira RCL. Sensores térmicos e termopilhas [Internet]. 2002 ;[citado 2024 set. 30 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11092024-145622/pt-br.php
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