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Desenvolvimento de um micro detector de condutividade térmica (2002)

  • Authors:
  • Autor USP: MELMAN, DOUGLAS - EP
  • Unidade: EP
  • Sigla do Departamento: PSI
  • Subjects: CONDUÇÃO DO CALOR; SISTEMAS MICROELETROMECÂNICOS
  • Language: Português
  • Abstract: Apresenta-se neste trabalho um estudo analítico, numérico e experimental com o objetivo de se desenvolver um micro detector de condutividade térmica, baseado em um sensor calorimétrico. Este microsensor foi construído utilizando-se três filamentos isolados termicamente do substrato de silício, um central que funciona como aquecedor e dois laterais que funcionam como sensores de temperatura. Estes filamentos foram construídos utilizando-se a tecnologia MEMS de fabricação em superfície, com camada sacrificial de óxido de silício e camada estrutural de silício policristalino sobre nitreto de silício. O modelamento teórico foi realizado obtendo-se curvas características de temperatura em função de distância em relação ao aquecedor central. Foram considerados diferentes tipos de gases puros para comparação e também analisou-se a possibilidade de contaminação de um gás de arraste. As análises experimentais, utilizando-se uma ponte de Wheatstone acoplada na saída do microdetector, confirmaram a possibilidade de utilização do dispositivo em estudo na identificação de gases puros e validaram as simulações numéricas. Nossos resultados permitiram portanto, estabelecer uma relevante base teórica e experimental para um futuro aperfeiçoamento e otimização do micro detector de condutividade térmica proposto
  • Imprenta:
  • Data da defesa: 24.06.2002

  • How to cite
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    • ABNT

      MELMAN, Douglas; FURLAN, Rogério. Desenvolvimento de um micro detector de condutividade térmica. 2002.Universidade de São Paulo, São Paulo, 2002.
    • APA

      Melman, D., & Furlan, R. (2002). Desenvolvimento de um micro detector de condutividade térmica. Universidade de São Paulo, São Paulo.
    • NLM

      Melman D, Furlan R. Desenvolvimento de um micro detector de condutividade térmica. 2002 ;
    • Vancouver

      Melman D, Furlan R. Desenvolvimento de um micro detector de condutividade térmica. 2002 ;

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