Tese

Implementação de um sensor óptico integrado de pressão baseado no Interferômetro Mach-Zehnder (IMZ) (2001)

• Authors:
  • Siarkowski, Acácio Luiz
  • Morimoto, Nilton Itiro (Orientador)
• Autor USP: SIARKOWSKI, ACÁCIO LUIZ - EP
• Unidade: EP
• Sigla do Departamento: PTC
• Subjects: ÓPTICA ELETRÔNICA; INTERFERÔMETROS
• Language: Português
• Abstract: Este trabalho tem como objetivo a implementação de um sensor óptico integrado de pressão baseado no Interferômetro Mach-Zehnder (IMZ), usando uma membrana microusinada (diafragma) em um substrato de silício, dando continuidade aos estudos previamente realizados pelo nosso grupo de pesquisa, que desenvolveram e caracterizaram filmes finos de óxido de silício e nitreto de silício para a fabricação de guias e sensores ópticos integrados. Projetamos os dispositivos com base em simulações que foram realizadas por um conjunto de programas dedicado ao guiamento óptico em estruturas planares e em análises de deformações mecânicas de membranas de silício (diafragmas). Em seguida, confeccionamos as máscaras litográficas com os padrões de IMZs e diafragmas usados na fabricação dos sensores ópticos. As estruturas dos sensores foram implementadas sobre substratos de silício monocristalino, utilizando-se os processos convencionais de microeletrônica: oxidação térmica, deposição química a vapor (CVD), litografia óptica, corrosão por plasma e corrosões úmidas. Tais estruturas obtidas foram caracterizadas física e opticamente. Os sensores ópticos implementados mostraram uma relação não linear entre uma pressão estática aplicada ao diafragma de silício e a intensidade luminosa de saída do IMZ. A sensibilidade e a faixa de pressão de trabalho do sensor de pressão implementado depende das dimensões dos diafragmas. Quanto maiores forem estasdimensões teremos uma melhor sensibilidade e uma menor faixa de medida de pressão. O espalhamento da onda guiada é maior para os sensores implementados com ângulos de abertura maiores, o que aumenta o nível de ruído do sinal e prejudica a estabilidade e reprodutibilidade durante a medida.
• Imprenta:
  • Publisher place: São Paulo
  • Date published: 2001
• Data da defesa: 29.11.2001


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How to cite

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• ABNT

  SIARKOWSKI, Acácio Luiz. Implementação de um sensor óptico integrado de pressão baseado no Interferômetro Mach-Zehnder (IMZ). 2001. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2001. Disponível em: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-15102024-093457/pt-br.php. Acesso em: 09 fev. 2026.

• APA

  Siarkowski, A. L. (2001). Implementação de um sensor óptico integrado de pressão baseado no Interferômetro Mach-Zehnder (IMZ) (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-15102024-093457/pt-br.php

• NLM

  Siarkowski AL. Implementação de um sensor óptico integrado de pressão baseado no Interferômetro Mach-Zehnder (IMZ) [Internet]. 2001 ;[citado 2026 fev. 09 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-15102024-093457/pt-br.php

• Vancouver

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