Surface quality evaluation of diamond turned semiconductor crystal by means of atomic force microscopy (2001)
- Authors:
- Autor USP: DUDUCH, JAIME GILBERTO - EESC
- Unidade: EESC
- Subjects: USINAGEM; FERRAMENTAS; ENGENHARIA MECÂNICA
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Conference titles: Congresso Brasileiro de Engenharia de Fabricação
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ABNT
JASINEVICIUS, Renato Goulart et al. Surface quality evaluation of diamond turned semiconductor crystal by means of atomic force microscopy. 2001, Anais.. Curitiba: ABCM, 2001. . Acesso em: 30 set. 2024. -
APA
Jasinevicius, R. G., Silva, H. A. T. da, Montanari, L., Tsukamoto, R., & Duduch, J. G. (2001). Surface quality evaluation of diamond turned semiconductor crystal by means of atomic force microscopy. In . Curitiba: ABCM. -
NLM
Jasinevicius RG, Silva HAT da, Montanari L, Tsukamoto R, Duduch JG. Surface quality evaluation of diamond turned semiconductor crystal by means of atomic force microscopy. 2001 ;[citado 2024 set. 30 ] -
Vancouver
Jasinevicius RG, Silva HAT da, Montanari L, Tsukamoto R, Duduch JG. Surface quality evaluation of diamond turned semiconductor crystal by means of atomic force microscopy. 2001 ;[citado 2024 set. 30 ] - Design of an angular positioner for precision machines
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