Atomic force microscopy used for surface finish inspection of diamond turned monocrystalline silicon (2000)
- Authors:
- USP affiliated authors: DUDUCH, JAIME GILBERTO - EESC ; PORTO, ARTHUR JOSE VIEIRA - EESC
- Unidade: EESC
- Subjects: USINAGEM; FERRAMENTAS
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Publisher: Technical University of Denmark
- Publisher place: Copenhagen, Denmark
- Date published: 2000
- Source:
- Título: Proceedings
- Conference titles: euspen Topical Conference on Fabrication and Metrology in Nanotechnology
-
ABNT
JASINEVICIUS, Renato Goulart e DUDUCH, Jaime Gilberto e PORTO, Arthur José Vieira. Atomic force microscopy used for surface finish inspection of diamond turned monocrystalline silicon. 2000, Anais.. Copenhagen, Denmark: Technical University of Denmark, 2000. . Acesso em: 01 jan. 2026. -
APA
Jasinevicius, R. G., Duduch, J. G., & Porto, A. J. V. (2000). Atomic force microscopy used for surface finish inspection of diamond turned monocrystalline silicon. In Proceedings. Copenhagen, Denmark: Technical University of Denmark. -
NLM
Jasinevicius RG, Duduch JG, Porto AJV. Atomic force microscopy used for surface finish inspection of diamond turned monocrystalline silicon. Proceedings. 2000 ;[citado 2026 jan. 01 ] -
Vancouver
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