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Desenvolvimento de um microsensor de pressão intravascular utilizando pós-processamento (1999)

  • Authors:
  • Autor USP: OCAMPO, JUAN MANUEL JARAMILLO - EP
  • Unidade: EP
  • Sigla do Departamento: PSI
  • Assunto: ENGENHARIA ELÉTRICA
  • Language: Português
  • Abstract: Diferentes microdispositivos, como acelerômetros, sensores de pressão, microsistemas fluídicos, etc., têm sido fabricados com êxito usando foundries comerciais, porém, sempre em processos dedicados ou com microusinado de superfície. A estratégiaadotada para a construção destes microdispositivos é denominada de tecnologia de pós-processamento. Esta tecnologia de pós-processamento foi assumida neste trabalho, com o objetivo de se desenvolver um microsensor de pressão a ser posicionado naponta de um cateter. A novidade aqui apresentada corresponde ao fato da micromembrana ser realizada mediante a microusinagem de corpo (bulk micromachinig) deixando-se o menor número de camadas sobre a micromembrana. A foundry comercial escolhidapara se desenvolver o trabalho foi a da AMS, com uma tecnologia CMOS de 0.8'MICROMETROS'. O microsensor consiste de uma ponte de Wheatstone, formada mediante difusões de Boro, comuns na construção do fonte e dreno dos transistores P-MOS. Estasdifusões recebem o nome de piezoresistores difundidos. Estes piezoresistores são conectados por metal para formação da ponte. A posição dos piezoresistores na micromembrana, é definida através de um programa de elementos finitoscomercial(ANSYS). A partir das simulações realizadas encontraram-se várias curvas de Sensibilidade vs. Espessura da micromembrana com as quais foram construídos vários protótipos, a partir dos quais o simulador será calibrado. Em suma estetrabalho apresenta ametodologia para o projeto de microsensores de pressão e o desenvolvimento de protótipos usando a tecnologia de pós-processamento após ter recebido os dispositivos de uma foundry qualquer
  • Imprenta:
  • Data da defesa: 17.12.1999

  • How to cite
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    • ABNT

      JARAMILLO OCAMPO, Juan Manuel; CHARRY RODRIGUEZ, Edgar. Desenvolvimento de um microsensor de pressão intravascular utilizando pós-processamento. 1999.Universidade de São Paulo, São Paulo, 1999.
    • APA

      Jaramillo Ocampo, J. M., & Charry Rodriguez, E. (1999). Desenvolvimento de um microsensor de pressão intravascular utilizando pós-processamento. Universidade de São Paulo, São Paulo.
    • NLM

      Jaramillo Ocampo JM, Charry Rodriguez E. Desenvolvimento de um microsensor de pressão intravascular utilizando pós-processamento. 1999 ;
    • Vancouver

      Jaramillo Ocampo JM, Charry Rodriguez E. Desenvolvimento de um microsensor de pressão intravascular utilizando pós-processamento. 1999 ;

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