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Estudo de técnicas de nanofabricação aplicadas a filmes semicondutores (1999)

  • Authors:
  • Autor USP: ALVES, MARCUS VINÍCIUS - IFSC
  • Unidade: IFSC
  • Sigla do Departamento: FCM
  • Subjects: MATÉRIA CONDENSADA; SEMICONDUTORES
  • Language: Português
  • Abstract: Este trabalho teve como objetivo principal o estudo de técnicas de nano fabricação aplicadas a filmes semicondutores do grupo III-V, crescidos pelas técnica de epitaxia por feixe molecular. Padrões, visando o domínio da técnica e a produção de nano-estruturas foram criados em filmes de GaAs utilizando-se a técnica de litografia por feixe de elétrons e ataques químicos. Os padrões foram gerados a partir de um software especial de controle que, acoplado ao microscópio eletrônico de varredura, através de uma interface, permite o controle externo da varredura x-y do feixe de elétrons. Estudamos o comportamento da espessura do filme de elétron-resiste poli (metalicrato de metila)(PMMA) em função da temperatura, aplicando soluções com pesos moleculares variados sobre filmes semicondutores, dissolvidos em Xileno, Monoclorobenzeno e Acetona. Investigamos o uso do ultra-som nos processos de revelação do PMMA e no ataque químico de superfícies de GaAs. Através da análise do ataque químico empregando várias formulações a base de ácidos em GaAs (100) e (311) A e B, determinamos a velocidade de ataque em cada caso, classificando as propriedades obtidas para a superfície. Em GaAs (100) avaliamos a dependência entre a rugosidade da face atacada e o tempo de ataque para uma solução de N'H IND.4OH:'H IND.2'O(pH=7). Os resultados por nós obtidos formam um conjunto de dados que servirão de apoio a trabalhos futuros, desenvolvidos em nano-fabricação aplicada a filmes de GaAs,crescido em planos diferentes do (100)
  • Imprenta:
  • Data da defesa: 29.03.1999
  • Acesso à fonte
    How to cite
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    • ABNT

      ALVES, Marcus Vinicius; MAREGA JÚNIOR, Euclydes. Estudo de técnicas de nanofabricação aplicadas a filmes semicondutores. 1999.Universidade de São Paulo, São Carlos, 1999. Disponível em: < http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/76/76132/tde-01042014-171353/pt-br.php >.
    • APA

      Alves, M. V., & Marega Júnior, E. (1999). Estudo de técnicas de nanofabricação aplicadas a filmes semicondutores. Universidade de São Paulo, São Carlos. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/76/76132/tde-01042014-171353/pt-br.php
    • NLM

      Alves MV, Marega Júnior E. Estudo de técnicas de nanofabricação aplicadas a filmes semicondutores [Internet]. 1999 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/76/76132/tde-01042014-171353/pt-br.php
    • Vancouver

      Alves MV, Marega Júnior E. Estudo de técnicas de nanofabricação aplicadas a filmes semicondutores [Internet]. 1999 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/76/76132/tde-01042014-171353/pt-br.php

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