Estudo do controle de espessura de microestruturas de silício (1997)
- Authors:
- Autor USP: FURLAN, ROGERIO - EP
- Unidade: EP
- Assunto: SEMICONDUTORES
- Language: Português
- Imprenta:
- Source:
- Título: 5. SICUSP
- Conference titles: Simpósio de Iniciação Científica da Universidade de São Paulo
-
ABNT
LEMINSKI, Roberto Eduardo Bruzetti e FONTES, Marcelo Bariatto Andrade e FURLAN, Rogério. Estudo do controle de espessura de microestruturas de silício. 1997, Anais.. São Paulo: USP, 1997. . Acesso em: 10 abr. 2026. -
APA
Leminski, R. E. B., Fontes, M. B. A., & Furlan, R. (1997). Estudo do controle de espessura de microestruturas de silício. In 5. SICUSP. São Paulo: USP. -
NLM
Leminski REB, Fontes MBA, Furlan R. Estudo do controle de espessura de microestruturas de silício. 5. SICUSP. 1997 ;[citado 2026 abr. 10 ] -
Vancouver
Leminski REB, Fontes MBA, Furlan R. Estudo do controle de espessura de microestruturas de silício. 5. SICUSP. 1997 ;[citado 2026 abr. 10 ] - Analysis of microbeam deflection due to capillary loading
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