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Elementos piezoresistivos para sensores de pressão com tecnologia CMOS (1997)

  • Authors:
  • Autor USP: RASIA, LUIZ ANTONIO - EP
  • Unidade: EP
  • Sigla do Departamento: PEE
  • Assunto: ENGENHARIA ELÉTRICA
  • Language: Português
  • Abstract: O presente trabalho visa fornecer as bases para o projeto e a caracterização de piezoresistores de silício que podem ser empregados na fabricação de sensores de pressão piezoresistivos integrados, que incorporam em um mesmo chip tanto o elemento sensível como o elemento transdutor, usando a tecnologia CMOS de 1,2 'mü'm e pós-processamento. O estudo realizado possibilitou entender o efeito piezoresistivo no Si e algumas características elétricas e térmicas, através da caracterização experimental de piezoresistores construídos com silício mono e policristalino, fornecendo parâmetros de engenharia adequados ao projeto de sensores de pressão e que poderão ser empregados para a fabricação em escala industrial. O uso da tecnologia padrão de circuitos integrados através de uma "foundry" permite fabricar "gauges" que, adequadamente posicionados em uma fina membrana obtida por corrosão anisotrópica, convertem o esforço mecânico aplicado em uma variação da resistência elétrica. Pode-se obter informações em termos do comportamento das propriedades elétricas, térmicas, mecânicas e dos efeitos cruzados nos elementos piezoresistivos, o que possibilita incorporar grandes melhorias funcionais aos sensores de pressão que venham a ser fabricados com silício
  • Imprenta:
  • Data da defesa: 30.09.1997

  • How to cite
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    • ABNT

      RASIA, Luiz Antônio; CHARRY RODRIGUEZ, Edgar. Elementos piezoresistivos para sensores de pressão com tecnologia CMOS. 1997.Universidade de São Paulo, São Paulo, 1997.
    • APA

      Rasia, L. A., & Charry Rodriguez, E. (1997). Elementos piezoresistivos para sensores de pressão com tecnologia CMOS. Universidade de São Paulo, São Paulo.
    • NLM

      Rasia LA, Charry Rodriguez E. Elementos piezoresistivos para sensores de pressão com tecnologia CMOS. 1997 ;
    • Vancouver

      Rasia LA, Charry Rodriguez E. Elementos piezoresistivos para sensores de pressão com tecnologia CMOS. 1997 ;


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