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Corrosão de alumínio por plasma (1997)

  • Authors:
  • Autor USP: NAKAZAWA, ANGELA MAKIE - EP
  • Unidade: EP
  • Sigla do Departamento: PEE
  • Assunto: ENGENHARIA ELÉTRICA
  • Language: Português
  • Abstract: Este trabalho apresenta um estudo da corrosao de aluminio por plasma utilizando c'CL IND.4' + 'N IND.2' e b'CL IND.3' + 'CL IND.2', com o objetivo de obter-se linhas de aluminio com perfil vertical. As amostras foram preparadas com aluminio depositado por evaporacao e por sputtering. Foram propostos dois metodos para determinar a taxa de corrosao de aluminio e o tempo de quebra do oxido de aluminio. Os resultados indicam que a taxa de corrosao de aluminio varia de uma lamina para outra, com o tamanho das laminas e que a taxa de corrosao nao e constante no tempo. Portanto, a analise dos resultados demanda mais cuidado. Utilizando como mascara os tracados obtidos pela litografia de tres camadas, analisou-se o perfil das linhas de aluminio. Foi obtido perfil vertical em c'CL IND.4' + 'N IND.2', mas com esta mistura o tempo de quebra do oxido de aluminio e grande e pouco reprodutivel. O tempo de quebra e menor e reprodutivel com b'CL IND.3' + 'CL IND.2', mas ocorre corrosao lateral. Foi realizado um processo de corrosao em duas etapas: a primeira com b'CL IND.3' + 'CL IND.2' para remover o oxido de aluminio e a segunda com c'CL IND.4' + 'N IND.2' para obter as linhas com perfil vertical. As analises no microscopio eletronico mostram que este processo de duas etapas funciona de acordo com o esperado.
  • Imprenta:
  • Data da defesa: 14.04.1997

  • How to cite
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    • ABNT

      NAKAZAWA, Angela Makie; VERDONCK, Patrick Bernard. Corrosão de alumínio por plasma. 1997.Universidade de São Paulo, São Paulo, 1997.
    • APA

      Nakazawa, A. M., & Verdonck, P. B. (1997). Corrosão de alumínio por plasma. Universidade de São Paulo, São Paulo.
    • NLM

      Nakazawa AM, Verdonck PB. Corrosão de alumínio por plasma. 1997 ;
    • Vancouver

      Nakazawa AM, Verdonck PB. Corrosão de alumínio por plasma. 1997 ;

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