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Caracterização de super-redes semicondutoras amorfas por difração de raios x (1995)

  • Authors:
  • Autor USP: VELASQUEZ, ELVIRA LETICIA ZEBALLOS - IF
  • Unidade: IF
  • Sigla do Departamento: FAP
  • Subjects: MATÉRIA CONDENSADA; SEMICONDUTORES
  • Language: Português
  • Abstract: Neste trabalho foram investigados dois sistemas de multicamadas de semicondutores amorfos, a-'SI':h/'SI IND.1-X''C IND.X':h e a-'SI':h/a-'GE':h, crescidos pela tecnica de plasma enhanced chemical vapor deposition (pecvd). A difracao de raios x a baixo angulo (saxrd) foi a tecnica utilizada para estudo das propriedades estruturais destas super-redes. Os objetivos deste trabalho foram: a) determinar as propriedades estruturais destes sistemas, no que tange a periodicidade da super-rede, uniformidade em espessura e tipo de interface; b) desenvolver modelos teoricos de simulacao das intensidades difratadas; e c) avaliar o processo de difusao e cristalizacao dos componentes das multicamadas, atraves de tratamentos termicos. As multicamadas de a-'SI':h/a-'SI IND.1-X''C IND.X':h foram crescidas variando-se dois parametros de deposicao: a concentracao de metano na mistura gasosa e o tempo de plasma etching de hidrogenio entre deposicoes consecutivas. A combinacao dos resultados de espectroscopia de eletrons auger (aes) e saxrd permitiram avaliar a espessura das interfaces. Interfaces mais abruptas foram obtidas em sistemas crescidos sobre uma camada buffer, tempos de plasma etching de hidrogenio de, pelo menos, 2min, e camadas de a-'SI IND.1-X''C IND.X':h crescidas com mais alta concentracao de 'CH IND.4' na mistura gasosa e em condicoes de baixo fluxo de silano
  • Imprenta:
  • Data da defesa: 05.07.1995
  • Acesso à fonte
    How to cite
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    • ABNT

      VELASQUEZ, Elvira Leticia Zeballos; FANTINI, Márcia Carvalho de Abreu. Caracterização de super-redes semicondutoras amorfas por difração de raios x. 1995.Universidade de São Paulo, São Paulo, 1995. Disponível em: < http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/43/43133/tde-12072013-154933/pt-br.php >.
    • APA

      Velasquez, E. L. Z., & Fantini, M. C. de A. (1995). Caracterização de super-redes semicondutoras amorfas por difração de raios x. Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/43/43133/tde-12072013-154933/pt-br.php
    • NLM

      Velasquez ELZ, Fantini MC de A. Caracterização de super-redes semicondutoras amorfas por difração de raios x [Internet]. 1995 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/43/43133/tde-12072013-154933/pt-br.php
    • Vancouver

      Velasquez ELZ, Fantini MC de A. Caracterização de super-redes semicondutoras amorfas por difração de raios x [Internet]. 1995 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/43/43133/tde-12072013-154933/pt-br.php

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