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Deposicao e caracterizacao de filmes de nitreto de titanio para utilizacao como barreira intermetalica (1995)

  • Authors:
  • Autor USP: OSORIO, SERGIO PAULO AMARAL - EP
  • Unidade: EP
  • Sigla do Departamento: PEE
  • Assunto: ENGENHARIA ELÉTRICA
  • Language: Português
  • Abstract: Filmes de nitreto de titanio ('TI'n) foram depositados por sputering reativo a temperatura ambiente (sem aquecimento de substrato) e com potencia rf, utilizando um magnetron sputer balzers bas-450. A pressao total de trabalho ('N IND.2' + 'AR') foi mantida em '3X10 POT.3-' mbar, e a pressao parcial de 'N IND.2' foi variada entre 20 e 70% da pressao total. Verificou-se que, com potencia de 1000w, a pressao critica para a formacao do 'TI'n situa-se entre 35 e 40% da pressao total, e a 1200w, a pressao critica situa-se entre 40 e 45%. Os filmes foram caracterizados por difracao de raios x (xrd), rutherford back-scattering (rbs), microscopia de varredura eletronica (sem) e pela tecnica de quatro pontas. Os resultados indicam que as resistividades dos filmes depositados com potencia rf, entre 25 e 50'MICRO-OHM'cm, sao menores que as daqueles depositados com potencia dc, maiores que 70'MICRO-OHM'cm, reportados na literatura. Um amplo estudo dos efeitos de variacao de parametros de processo nas propriedades do filme foi efetuado. As limitacoes do equipamento utilizado e suas consequencias nas propriedades dos filmes de 'TI'n foram analisadas, bem como a formacao do siliceto de titanio ('TI''SI IND.2') e na fabricacao da estrutura 'AL'/'TI'n/'TI''SI IND.2'/'SI'- 'N POT.+'.
  • Imprenta:
  • Data da defesa: 12.12.1995

  • How to cite
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    • ABNT

      OSORIO, Sergio Paulo Amaral; ZASNICOFF, Luiz Sergio. Deposicao e caracterizacao de filmes de nitreto de titanio para utilizacao como barreira intermetalica. 1995.Universidade de São Paulo, São Paulo, 1995.
    • APA

      Osorio, S. P. A., & Zasnicoff, L. S. (1995). Deposicao e caracterizacao de filmes de nitreto de titanio para utilizacao como barreira intermetalica. Universidade de São Paulo, São Paulo.
    • NLM

      Osorio SPA, Zasnicoff LS. Deposicao e caracterizacao de filmes de nitreto de titanio para utilizacao como barreira intermetalica. 1995 ;
    • Vancouver

      Osorio SPA, Zasnicoff LS. Deposicao e caracterizacao de filmes de nitreto de titanio para utilizacao como barreira intermetalica. 1995 ;

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