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Comparacao entre as estruturas cmos cavidades duplas e cmos cavidades gemeas com relacao ao efeito tiristor parasitario (1995)

  • Authors:
  • USP affiliated authors: ROMANELLI, CLAUDIA CÔRTES - EP
  • Unidades: EP
  • Sigla do Departamento: PMT
  • Subjects: MATERIAIS
  • Language: Português
  • Abstract: As estruturas cmos cavidades duplas e cmos cavidades gemeas representam tecnologias-base utilizadas em dispositivos de ultima geracao. Comparacoes entre os dois tipos de estrutura visam estudar a melhor profundidade da cavidade do mesmo tipo do substrato, com relacao ao comportamento do transistor imerso na cavidade alterada e parametros de isolacao. O trabalho apresentado a seguir concentrou-se na comparacao entre as duas estruturas cmos atraves do efeito tiristor parasitario, uma das principais limitacoes a reducao de dimensoes em dispositivos vlsi. Este efeito e diretamente ligado as dimensoes dos dispositivos e tambem ao perfil das cavidades. O estudo teorico das duas estruturas foi feito atraves dos simuladores supremiii, supremiv e piscesiib. Segue-se a producao de laminas de teste com diodos, jfet's de cavidade e tiristores parasitarios para as medidas eletricas comparativas. Os resultados teoricos e praticos sao confrontados de modo a compor uma analise do comportamento do latch-up para as estruturas cmos em questao.
  • Imprenta:
  • Data da defesa: 12.05.1995

  • How to cite
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    • ABNT

      ROMANELLI, Claudia Cortes; MARTINO, João Antonio. Comparacao entre as estruturas cmos cavidades duplas e cmos cavidades gemeas com relacao ao efeito tiristor parasitario. 1995.Universidade de São Paulo, São Paulo, 1995.
    • APA

      Romanelli, C. C., & Martino, J. A. (1995). Comparacao entre as estruturas cmos cavidades duplas e cmos cavidades gemeas com relacao ao efeito tiristor parasitario. Universidade de São Paulo, São Paulo.
    • NLM

      Romanelli CC, Martino JA. Comparacao entre as estruturas cmos cavidades duplas e cmos cavidades gemeas com relacao ao efeito tiristor parasitario. 1995 ;
    • Vancouver

      Romanelli CC, Martino JA. Comparacao entre as estruturas cmos cavidades duplas e cmos cavidades gemeas com relacao ao efeito tiristor parasitario. 1995 ;

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