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Produção e caracterização de filmes finos de silicio amorfo hidrogenado por descarga luminescente a 60hz (1994)

  • Authors:
  • Autor USP: FRAGALLI, JOSE FERNANDO - IFSC
  • Unidade: IFSC
  • Sigla do Departamento: FCM
  • Subjects: SUPERFÍCIE FÍSICA; SUPERFÍCIE FÍSICA; MATÉRIA CONDENSADA
  • Language: Português
  • Abstract: Apresentamos neste trabalho uma tecnica alternativa para a obtencao de filmes finos de silicio amorfo hidrogenado (a-'SI':h). Nos depositamos a-'SI':h em um sistema de deposicao que utiliza descarga luminescente a baixas frequencias (60hz). Para tanto, nos projetamos todo o reator para que este objetivo pudesse ser atingido. Os filmes obtidos por nos mostram propriedades opticas e eletronicas bastante proximas aquelas dos filmes produzidos pela tecnica convencional de descarga luminescente a radio-frequencia (13,56 mhz). A temperatura do substrato otima para a tecnica de descarga luminescente a baixas frequencias esta na faixa 150-170'GRAUS'c, em torno de 100'GRAUS'c menor do que aquela usada para radio-frequencia. Neste trabalho nos apresentamos medidas das propriedades dos filmes, incluindo condutividade no escuro, fotocondutividade, comprimento de difusao ambipolar, absorcao no infra-vermelho, gap optico, e densidade de defeitos de niveis profundos. Para realizar parte destas medidas, nos construimos sistemas experimentais de caracterizacao exclusivos para o a-'SI':h
  • Imprenta:
  • Data da defesa: 28.10.1994
  • Acesso à fonte
    How to cite
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    • ABNT

      FRAGALLI, Jose Fernando; BAGNATO, Vanderlei Salvador. Produção e caracterização de filmes finos de silicio amorfo hidrogenado por descarga luminescente a 60hz. 1994.Universidade de São Paulo, São Carlos, 1994. Disponível em: < http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/76/76131/tde-09062009-090951/ >.
    • APA

      Fragalli, J. F., & Bagnato, V. S. (1994). Produção e caracterização de filmes finos de silicio amorfo hidrogenado por descarga luminescente a 60hz. Universidade de São Paulo, São Carlos. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/76/76131/tde-09062009-090951/
    • NLM

      Fragalli JF, Bagnato VS. Produção e caracterização de filmes finos de silicio amorfo hidrogenado por descarga luminescente a 60hz [Internet]. 1994 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/76/76131/tde-09062009-090951/
    • Vancouver

      Fragalli JF, Bagnato VS. Produção e caracterização de filmes finos de silicio amorfo hidrogenado por descarga luminescente a 60hz [Internet]. 1994 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/76/76131/tde-09062009-090951/

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