Controle de temperatura em equipamento de processo térmico rápido aplicado em microeletrônica (1994)
- Authors:
- Autor USP: FISCHER, CLOVIS - EP
- Unidade: EP
- Sigla do Departamento: PEE
- Assunto: ENGENHARIA ELÉTRICA
- Language: Português
- Abstract: Os processos térmicos para lâminas de material semicondutor, utilizados na indústria de circuitos integrados, vem sendo aprimorados, de maneira que novas técnicas, como a de processo térmico rápido apresentada neste trabalho, tem sido amplamente pesquisadas e aplicadas em diversas etapas do processo de fabricação. Este trabalho possui como meta o modelamento dos diversos elementos de um sistema de processo térmico rápido, determinação dos parâmetros destes modelos, avaliação de uma técnica de baixo custo para medida da temperatura de lâminas de silício e da técnica de controle PID digital para o processo de aquecimento. O ajuste dos parâmetros do controlador é realizado através de simulação em computador, baseado na minimização do erro quadrático médio. Finalmente, são apresentados resultados obtidos para as técnicas de medida da temperatura e de controle empregadas.
- Imprenta:
- Data da defesa: 25.04.1994
-
ABNT
FISCHER, Clovis. Controle de temperatura em equipamento de processo térmico rápido aplicado em microeletrônica. 1994. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 1994. Disponível em: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3142/tde-06012025-144711/pt-br.php. Acesso em: 27 dez. 2025. -
APA
Fischer, C. (1994). Controle de temperatura em equipamento de processo térmico rápido aplicado em microeletrônica (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3142/tde-06012025-144711/pt-br.php -
NLM
Fischer C. Controle de temperatura em equipamento de processo térmico rápido aplicado em microeletrônica [Internet]. 1994 ;[citado 2025 dez. 27 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3142/tde-06012025-144711/pt-br.php -
Vancouver
Fischer C. Controle de temperatura em equipamento de processo térmico rápido aplicado em microeletrônica [Internet]. 1994 ;[citado 2025 dez. 27 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3142/tde-06012025-144711/pt-br.php - Lyapunov exponents spectrum estimation of fractional order nonlinear systems using Cloned Dynamics
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