Estruturas de fonte e dreno para transistores MOS submicrométricos (1992)
- Authors:
- Autor USP: MAFRA JUNIOR, JOHNNY JOSE - EP
- Unidade: EP
- Sigla do Departamento: PMT
- Assunto: MATERIAIS
- Language: Português
- Abstract: É adotada uma estrutura de fonte e dreno com siliceto de titânio auto-alinhados (SALICIDE) e barreira de difusão de titânio para resolver os problemas que surgem ao diminuir o tamanho dos dispositivos (escalamento): aumento das resistências de contato, de interconexão, fonte, dreno, perfuração e junções rasas pelo alumínio. Foram construídas várias estruturas de fonte e dreno, para comparar os desempenhos, auxiliar na identificação dos mecanismos de falha e comprovar as vantagens da estrutura adotada. O processo foi projetado usando-se o SUPREM III e o programa IDEN. A caracterização elétrica foi feita em cerca de 15000 dispositivos. Isso fornece a necessária confiabilidade e representatividade aos resultados e permite a sua análise estatisticamente. A estrutura SALICIDE adotada mostrou-se vantajosa, pois a resistÊncia de folha é uma ordem de grandeza menor que a implantação iônica de fonte e dreno e a resistência de contato é duas ordens de grandeza menor que para o 'AL' 1% 'SI'. A barreira de titânio foi eficiente para proteger as junções rasas e observou-se que um siliceto mais fino fornece junções melhores. A viabilidade e as vantagens do processo SALICIDE para a construção de fonte e dreno para transistores MOS submicrométricos foi comprovada e esta pronta para ser aplicada na implementação de transistores completos.
- Imprenta:
- Data da defesa: 10.12.1992
-
ABNT
MAFRA JUNIOR, Johnny Jose. Estruturas de fonte e dreno para transistores MOS submicrométricos. 1992. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 1992. Disponível em: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3133/tde-16082024-070858/pt-br.php. Acesso em: 19 out. 2024. -
APA
Mafra Junior, J. J. (1992). Estruturas de fonte e dreno para transistores MOS submicrométricos (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3133/tde-16082024-070858/pt-br.php -
NLM
Mafra Junior JJ. Estruturas de fonte e dreno para transistores MOS submicrométricos [Internet]. 1992 ;[citado 2024 out. 19 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3133/tde-16082024-070858/pt-br.php -
Vancouver
Mafra Junior JJ. Estruturas de fonte e dreno para transistores MOS submicrométricos [Internet]. 1992 ;[citado 2024 out. 19 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3133/tde-16082024-070858/pt-br.php
How to cite
A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas
