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Caracterização de filmes finos sol-gel por elipsometria (1992)

  • Authors:
  • USP affiliated authors: BARROS FILHO, DJALMA DE ALBUQUERQUE - IFQSC
  • Unidades: IFQSC
  • Sigla do Departamento: SFI
  • Subjects: MATÉRIA CONDENSADA; SUPERFÍCIE FÍSICA; MATÉRIA CONDENSADA
  • Language: Português
  • Abstract: A caracterizacao e um procedimento importante na determinacao das propriedades fisico-quimicas de qualquer material, como por exemplo, filmes finos sol-gel. A tecnica sol-gel torna possivel produzir materiais de natureza diversa (vitreos, ceramicas e cristalinos). O objetivo deste trabalho foi a observacao da evolucao das propriedades oticas e mecanicas de filmes de silica ('SI''O IND.2') durante o processo de densificacao. A analise destas propriedades e realizada nas seguintes etapas: a) evolucao estrutural atraves da medida da espessura; b) analise da porosidade pelo espectro do indice de refracao; c) determinacao das tensoes. A montagem de um microelipsometro que mede retardacoes oticas de filmes finos fez-se necessaria durante o trabalho experimental. A sua calibracao, para obtencao de perfil de tensoes de filmes finos e possivel pela tecnica de elipsometria nula
  • Imprenta:
  • Data da defesa: 04.06.1992

  • How to cite
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    • ABNT

      BARROS FILHO, Djalma de Albuquerque; AEGERTER, Michel Andre. Caracterização de filmes finos sol-gel por elipsometria. 1992.Universidade de São Paulo, São Carlos, 1992. Disponível em: < http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/54/54131/tde-19032009-090814/ >.
    • APA

      Barros Filho, D. de A., & Aegerter, M. A. (1992). Caracterização de filmes finos sol-gel por elipsometria. Universidade de São Paulo, São Carlos. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/54/54131/tde-19032009-090814/
    • NLM

      Barros Filho D de A, Aegerter MA. Caracterização de filmes finos sol-gel por elipsometria [Internet]. 1992 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/54/54131/tde-19032009-090814/
    • Vancouver

      Barros Filho D de A, Aegerter MA. Caracterização de filmes finos sol-gel por elipsometria [Internet]. 1992 ;Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/54/54131/tde-19032009-090814/


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