Produção e caracterização de películas de ligas de silício amorfo hidrogenado dopadas com boro (1991)
- Authors:
- Autor USP: RAMOS, CARLOS ALBERTO SANTOS - EP
- Unidade: EP
- Sigla do Departamento: PEE
- Assunto: ENGENHARIA ELÉTRICA
- Language: Português
- Abstract: Neste trabalho foi realizado o estudo de filmes de silício amorfo hidrogenado e suas ligas com carbono dopados com boro, num reator planar de descarga luminosa capacitiva de RF. Durante os estudos, que visavam a obtenção das condições ideais de deposição desses materiais, foi observado um fator limitante, que diz respeito principalmente aos tipos de gases inseridos dentro da câmara de deposição. Neste caso nos referimos ao hélio, utilizado como diluente no cilindro da diborana, que leva a produção de películas com propriedades opto-elétricas pobres, contrariamente as películas intrínsecas ou dopadas com fósforo depositadas no mesmo reator.
- Imprenta:
- Data da defesa: 19.11.1991
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ABNT
RAMOS, Carlos Alberto Santos. Produção e caracterização de películas de ligas de silício amorfo hidrogenado dopadas com boro. 1991. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 1991. Disponível em: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3142/tde-06012025-122006/pt-br.php. Acesso em: 20 jan. 2026. -
APA
Ramos, C. A. S. (1991). Produção e caracterização de películas de ligas de silício amorfo hidrogenado dopadas com boro (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3142/tde-06012025-122006/pt-br.php -
NLM
Ramos CAS. Produção e caracterização de películas de ligas de silício amorfo hidrogenado dopadas com boro [Internet]. 1991 ;[citado 2026 jan. 20 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3142/tde-06012025-122006/pt-br.php -
Vancouver
Ramos CAS. Produção e caracterização de películas de ligas de silício amorfo hidrogenado dopadas com boro [Internet]. 1991 ;[citado 2026 jan. 20 ] Available from: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3142/tde-06012025-122006/pt-br.php - Open-circuit voltages: theoretical and experimental optimizations of rear passivated silicon solar cells using Fz and Cz wafers
- Improvements in anti-reflection coatings for high-efficiency silicon solar cells
- Desenvolvimento de camadas antirefletoras para utilização em células solares de silício de uso espacial
- Thermal oxide passivation by corona charges
- Influencia da espessura nas propriedades opto-eletricas de peliculas de a: 'SI' : h dopadas com boro
- Propriedades dos filmes de a - 'SI IND.1'-'ANTIND.X C': h dopados com diborano diluido em helio
- Fabrication of fluorescent PMMA-carbon nanodots optical films and their feasibility in improving solar cells efficiency using low-cost sustainable materials
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