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Desenvolvimento de uma tecnologia para confeccao de circuitos integrados hibridos empregando a tecnica de deposicao por bombardeamento (1984)

  • Authors:
  • Autor USP: FINARDI, CELIO ANTONIO - EP
  • Unidade: EP
  • Sigla do Departamento: PEL
  • Assunto: CIRCUITOS INTEGRADOS
  • Language: Português
  • Abstract: Dentre as várias técnicas de metalização existentes, empregou-se neste trabalho a deposição por bombardeamento (sputtering), com o objetivo de desenvolver uma tecnologia de fabricação de circuitos híbridos em filme fino, contendo resistores integrados. Estudou-se a deposição reativa do sistema tântalo – nitrogênio, caracterizando-se a resistência pelicular, o coeficiente de temperatura de resistência, a aderência ao substrato e a composição dos filmes depositados, em função das variáveis do sistema de deposição. Os filmes de níquel-cromo e ouro foram escolhidos para formar a estrutura dos condutores e contatos, e suas principais características elétricas também foram apresentadas. Após definido o método de fabricação de circuitos com películas resistivas e condutoras, apresentou-se um estudo sobre resistores de nitreto de tântalo, abordando-se requisitos de projeto e métodos de ajuste. Uma série de testes de confiabilidade foram realizados com os resistores fabricados, obtendo-se informações sobre o comportamento dos mesmos em condições extremas de operação. Na última fase do trabalho, empregou-se a tecnologia desenvolvida no projeto de redes resistivas de precisão e de circuitos integrados de microondas (cargas de 50Ω, divisores de potência e isoladores). Realizou-se também um estudo sobre fotomáscaras de grande durabilidade e baixa reflexão, para a tecnologia de fabricação de circuitos integrados, empregando-se como materiais base, cromo e oxido de cromo, depositados em placas de vidro de alta planicidade.
  • Imprenta:
  • Data da defesa: 19.07.1984

  • How to cite
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    • ABNT

      FINARDI, Celio Antonio; PINTO, José Kleber da Cunha. Desenvolvimento de uma tecnologia para confeccao de circuitos integrados hibridos empregando a tecnica de deposicao por bombardeamento. 1984.Universidade de São Paulo, São Paulo, 1984.
    • APA

      Finardi, C. A., & Pinto, J. K. da C. (1984). Desenvolvimento de uma tecnologia para confeccao de circuitos integrados hibridos empregando a tecnica de deposicao por bombardeamento. Universidade de São Paulo, São Paulo.
    • NLM

      Finardi CA, Pinto JK da C. Desenvolvimento de uma tecnologia para confeccao de circuitos integrados hibridos empregando a tecnica de deposicao por bombardeamento. 1984 ;
    • Vancouver

      Finardi CA, Pinto JK da C. Desenvolvimento de uma tecnologia para confeccao de circuitos integrados hibridos empregando a tecnica de deposicao por bombardeamento. 1984 ;

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