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Corrosão anisotrópica do silício e caracterização dessa corrosão pela mistura hidroxido de potássio-água-isopropanol (1978)

  • Authors:
  • Autor USP: FISSORE, ALFEU - EP
  • Unidade: EP
  • Sigla do Departamento: PEL
  • Subjects: CORROSÃO; SILÍCIO
  • Language: Português
  • Abstract: Tendo em vista que a corrosão anisotrópica do Si é uma técnica de grande importância para a fabricação de dispositivos e para a obtenção de geometrias úteis em Microeletrônica, o presente trabalho tem como finalidade apresentar uma caracterização bastante completa da corrosão anisotrópica do Si por meio da mistura ternária KOH-H2O – Isopropanol. Como consequência dessa caracterização foram estabelecidas as condições ótimas de temperatura e composição da mistura para a corrosão. A seguir, descreve-se a estrutura do trabalho. No capítulo 1, são feitas considerações gerais sobre a corrosão química do Si. No capítulo 2, são apresentados mecanismos de corrosão do Si, tipos de misturas corrosivas e reações associadas a algumas previsões baseadas em modelos simples, das relações entre as taxas de corrosão de diferentes planos cristalográficos e das geometrias ideais das superfícies resultantes da corrosão. O projeto do processamento da corrosão é apresentado no capítulo 5. O capítulo 4 apresenta a caracterização da corrosão por meio de uma série de experiências, que puseram em realce a importância de uma composição e de uma temperatura da mistura corrosiva, ótimas, para a obtenção de superfícies sem defeitos. Nesta caracterização, além de outros parâmetros, foram determinadas taxas de corrosão, dimensões lineares das profundidades resultantes da corrosão e taxas de corrosão de materiais que podem servir como máscaras (resistentes a corrosão). Faz-se menção rápida dos campos de aplicação da corrosão, no capítulo 5, e finalmente o capítulo 6 apresenta algumas conclusões e críticas dos resultados obtidos neste trabalho.
  • Imprenta:
  • Data da defesa: 06.02.1979

  • How to cite
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    • ABNT

      FISSORE, Alfeu; WALDMAN, Bernard. Corrosão anisotrópica do silício e caracterização dessa corrosão pela mistura hidroxido de potássio-água-isopropanol. 1978.Universidade de São Paulo, São Paulo, 1978.
    • APA

      Fissore, A., & Waldman, B. (1978). Corrosão anisotrópica do silício e caracterização dessa corrosão pela mistura hidroxido de potássio-água-isopropanol. Universidade de São Paulo, São Paulo.
    • NLM

      Fissore A, Waldman B. Corrosão anisotrópica do silício e caracterização dessa corrosão pela mistura hidroxido de potássio-água-isopropanol. 1978 ;
    • Vancouver

      Fissore A, Waldman B. Corrosão anisotrópica do silício e caracterização dessa corrosão pela mistura hidroxido de potássio-água-isopropanol. 1978 ;

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