Corrosão anisotrópica do silício e caracterização dessa corrosão pela mistura hidroxido de potássio-água-isopropanol (1978)
- Authors:
- Autor USP: FISSORE, ALFEU - EP
- Unidade: EP
- Sigla do Departamento: PEL
- Subjects: CORROSÃO; SILÍCIO
- Language: Português
- Abstract: Tendo em vista que a corrosão anisotrópica do Si é uma técnica de grande importância para a fabricação de dispositivos e para a obtenção de geometrias úteis em Microeletrônica, o presente trabalho tem como finalidade apresentar uma caracterização bastante completa da corrosão anisotrópica do Si por meio da mistura ternária KOH-H2O – Isopropanol. Como consequência dessa caracterização foram estabelecidas as condições ótimas de temperatura e composição da mistura para a corrosão. A seguir, descreve-se a estrutura do trabalho. No capítulo 1, são feitas considerações gerais sobre a corrosão química do Si. No capítulo 2, são apresentados mecanismos de corrosão do Si, tipos de misturas corrosivas e reações associadas a algumas previsões baseadas em modelos simples, das relações entre as taxas de corrosão de diferentes planos cristalográficos e das geometrias ideais das superfícies resultantes da corrosão. O projeto do processamento da corrosão é apresentado no capítulo 5. O capítulo 4 apresenta a caracterização da corrosão por meio de uma série de experiências, que puseram em realce a importância de uma composição e de uma temperatura da mistura corrosiva, ótimas, para a obtenção de superfícies sem defeitos. Nesta caracterização, além de outros parâmetros, foram determinadas taxas de corrosão, dimensões lineares das profundidades resultantes da corrosão e taxas de corrosão de materiais que podem servir como máscaras (resistentes a corrosão). Faz-se menção rápida dos campos de aplicação da corrosão, no capítulo 5, e finalmente o capítulo 6 apresenta algumas conclusões e críticas dos resultados obtidos neste trabalho.
- Imprenta:
- Data da defesa: 06.02.1979
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ABNT
FISSORE, Alfeu. Corrosão anisotrópica do silício e caracterização dessa corrosão pela mistura hidroxido de potássio-água-isopropanol. 1978. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 1978. . Acesso em: 14 nov. 2024. -
APA
Fissore, A. (1978). Corrosão anisotrópica do silício e caracterização dessa corrosão pela mistura hidroxido de potássio-água-isopropanol (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. -
NLM
Fissore A. Corrosão anisotrópica do silício e caracterização dessa corrosão pela mistura hidroxido de potássio-água-isopropanol. 1978 ;[citado 2024 nov. 14 ] -
Vancouver
Fissore A. Corrosão anisotrópica do silício e caracterização dessa corrosão pela mistura hidroxido de potássio-água-isopropanol. 1978 ;[citado 2024 nov. 14 ]
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