Contribuição ao estudo e a caracterização da difusão de boro e de fósforo em circuitos integrados monolíticos (1981)
- Authors:
- Autor USP: BARONE, DANTE AUGUSTO COUTO BARONE - EP
- Unidade: EP
- Sigla do Departamento: PEL
- Subjects: CIRCUITOS INTEGRADOS; BORO; FÓSFORO
- Language: Português
- Abstract: O presente trabalho visa a caracterização de camadas difundidas de átomos de Boro e de Fósforo, obtidas experimentalmente. Inicialmente, procedemos a um estudo dos parâmetros tecnológicos envolvidos na difusão, visando a estabilização da tecnologia. Após terem sido estabelecidos os procedimentos experimentais adequados, foram realizadas difusões de Boro e de Fósforo, combinando-se tempos e temperaturas, a partir de fontes líquidas de BBr3 e POC13, respectivamente, utilizando-se a técnica de tubo aberto. A seguir analisamos a maneira como átomos dessas impurezas se difundem no Silício, com o objetivo de melhor entender os perfis obteníveis após a difusões realizadas, analisando-se um modelo de difusão unificado. Devido à complexidade desse modelo, se torna necessária a utilização de simuladores de tecnologia, que resolvam numericamente as equações de difusão. Neste trabalho, fazemos uso do simulador SUPREM, estabelecendo-se condições apropriadas de utilização do mesmo. Finalmente, através do uso do SUPREM, procedemos à caracterização das camadas difundidas, extraindo-se parâmetros, como concentração superficial e coeficiente de difusão, que não foram medidos experimentalmente. Dessa maneira, a caracterização das camadas difundidas possibilita a realização de difusões de Boro e de Fósforo, em condições repetitivas e explicáveis, permitindo uma maior confiabilidade na fabricação de circuitos integrados monolíticos, que empreguem os processos estudados no presente trabalho.
- Imprenta:
- Data da defesa: 27.07.1981
-
ABNT
BARONE, Dante Augusto Couto. Contribuição ao estudo e a caracterização da difusão de boro e de fósforo em circuitos integrados monolíticos. 1981. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 1981. . Acesso em: 05 ago. 2025. -
APA
Barone, D. A. C. (1981). Contribuição ao estudo e a caracterização da difusão de boro e de fósforo em circuitos integrados monolíticos (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. -
NLM
Barone DAC. Contribuição ao estudo e a caracterização da difusão de boro e de fósforo em circuitos integrados monolíticos. 1981 ;[citado 2025 ago. 05 ] -
Vancouver
Barone DAC. Contribuição ao estudo e a caracterização da difusão de boro e de fósforo em circuitos integrados monolíticos. 1981 ;[citado 2025 ago. 05 ]
How to cite
A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas
