Properties of aluminum oxide thin film obtained by metal plasma immersion ion implantation and deposition after zirconium-based pretreatment (2015)
- Authors:
- Santos, Demetrio Jackson dos - Universidade Federal do ABC (UFABC)
- Tavares, Lara Basilio - Universidade Federal do ABC (UFABC)
- Antunes, Renato Altobelli - Universidade Federal do ABC (UFABC)
- Droppa Jr., Roosevelt, - Universidade Federal do ABC (UFABC)
- Silva, Tiago Fiorini da
- Salvadori, Maria Cecília Barbosa da Silveira
- Autor USP: SALVADORI, MARIA CECILIA BARBOSA DA SILVEIRA - IF
- Unidade: IF
- DOI: 10.1016/j.vacuum.2015.07.016
- Subjects: ALUMÍNIO; ESPECTROMETRIA
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Source:
- Título do periódico: VACUUM
- Volume/Número/Paginação/Ano: v. 121, p. 32-41, nov. 2015
- Este periódico é de assinatura
- Este artigo NÃO é de acesso aberto
- Cor do Acesso Aberto: closed
-
ABNT
SANTOS, Demetrio Jackson dos et al. Properties of aluminum oxide thin film obtained by metal plasma immersion ion implantation and deposition after zirconium-based pretreatment. VACUUM, v. no 2015, p. 32-41, 2015Tradução . . Disponível em: https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2015.07.016. Acesso em: 20 abr. 2024. -
APA
Santos, D. J. dos, Tavares, L. B., Antunes, R. A., Droppa Jr., R., Silva, T. F. da, & Salvadori, M. C. B. da S. (2015). Properties of aluminum oxide thin film obtained by metal plasma immersion ion implantation and deposition after zirconium-based pretreatment. VACUUM, no 2015, 32-41. doi:10.1016/j.vacuum.2015.07.016 -
NLM
Santos DJ dos, Tavares LB, Antunes RA, Droppa Jr. R, Silva TF da, Salvadori MCB da S. Properties of aluminum oxide thin film obtained by metal plasma immersion ion implantation and deposition after zirconium-based pretreatment [Internet]. VACUUM. 2015 ; no 2015 32-41.[citado 2024 abr. 20 ] Available from: https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2015.07.016 -
Vancouver
Santos DJ dos, Tavares LB, Antunes RA, Droppa Jr. R, Silva TF da, Salvadori MCB da S. Properties of aluminum oxide thin film obtained by metal plasma immersion ion implantation and deposition after zirconium-based pretreatment [Internet]. VACUUM. 2015 ; no 2015 32-41.[citado 2024 abr. 20 ] Available from: https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2015.07.016 - Ultra-estrutura da celula terminal do protonefrideo de stenostomum
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Informações sobre o DOI: 10.1016/j.vacuum.2015.07.016 (Fonte: oaDOI API)
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