Fabricação em canaletas em substratos de silício para acoplamento fibra-guia utilizando siliceto de níquel como material de máscara (2007)
- Autores:
- Autor USP: MASCARO, AMANDA ROSSI - EP
- Unidade: EP
- Sigla do Departamento: PSI
- Assunto: MICROELETRÔNICA
- Idioma: Português
- Resumo: Neste trabalho, apresentamos um novo processo de fabricação para a obtenção de canaletas em V em substratos de silício monocristalino (100) para um acoplamento óptico utilizando siliceto de níquel como material de máscara. O filme de siliceto de níquel (200nm de espessura) foi obtido por processos de evaporação térmica e posterior recozimento a baixas temperaturas (200 e 250°C). As canaletas em V (com profundidade de 60 µm) foram fabricadas através do processo de corrosão anisotrópica, utilizando uma solução de KOH (27%-60°C). Durante este processo, a taxa de corrosão do substrato de silício pela solução de KOH foi estimada como sendo 33.1 µm/h. A composição da camada de siliceto de níquel obtida foi investigada utilizando a técnica RBS, que nos forneceu a estequiometria Ni2Si. A rugosidade de filmes de níquel e de Ni2Si foi medida pela técnica AFM. Uma análise SEM foi feita com as estruturas obtidas. Após o processamento das canaletas em V, elas foram alinhadas com um guia de onda simples de teste para um futuro acoplamento óptico.
- Imprenta:
- Data da defesa: 09.11.2007
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ABNT
MASCARO, Amanda Rossi. Fabricação em canaletas em substratos de silício para acoplamento fibra-guia utilizando siliceto de níquel como material de máscara. 2007. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2007. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-14012008-103221/. Acesso em: 24 abr. 2024. -
APA
Mascaro, A. R. (2007). Fabricação em canaletas em substratos de silício para acoplamento fibra-guia utilizando siliceto de níquel como material de máscara (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-14012008-103221/ -
NLM
Mascaro AR. Fabricação em canaletas em substratos de silício para acoplamento fibra-guia utilizando siliceto de níquel como material de máscara [Internet]. 2007 ;[citado 2024 abr. 24 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-14012008-103221/ -
Vancouver
Mascaro AR. Fabricação em canaletas em substratos de silício para acoplamento fibra-guia utilizando siliceto de níquel como material de máscara [Internet]. 2007 ;[citado 2024 abr. 24 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-14012008-103221/
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