Study of power balance in electronegative capacitively coupled plasmas (2003)
- Autores:
- Autor USP: VERDONCK, PATRICK BERNARD - EP
- Unidade: EP
- Assunto: PLASMA (MICROELETRÔNICA)
- Idioma: Inglês
- Imprenta:
- Editora: The Electrochemical Society
- Local: Pennington
- Data de publicação: 2003
- ISBN: 156677389X
- Fonte:
- Título do periódico: Microelectronic Technology and Devices SBMicro 2003
- Nome do evento: International Symposium on Microelectronics Technology and Devices - SBMICRO
-
ABNT
SWART, Laura e VERDONCK, Patrick Bernard e MOSHKALYOV, Stanislav A. Study of power balance in electronegative capacitively coupled plasmas. 2003, Anais.. Pennington: The Electrochemical Society, 2003. . Acesso em: 19 abr. 2024. -
APA
Swart, L., Verdonck, P. B., & Moshkalyov, S. A. (2003). Study of power balance in electronegative capacitively coupled plasmas. In Microelectronic Technology and Devices SBMicro 2003. Pennington: The Electrochemical Society. -
NLM
Swart L, Verdonck PB, Moshkalyov SA. Study of power balance in electronegative capacitively coupled plasmas. Microelectronic Technology and Devices SBMicro 2003. 2003 ;[citado 2024 abr. 19 ] -
Vancouver
Swart L, Verdonck PB, Moshkalyov SA. Study of power balance in electronegative capacitively coupled plasmas. Microelectronic Technology and Devices SBMicro 2003. 2003 ;[citado 2024 abr. 19 ] - Desenvolvimento de um processo de corrosao de aluminio por plasma de cc14+n2
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