Fabricação de elementos ópticos difrativos empregando processos de microusinagem (2002)
- Autores:
- Autor USP: CIRINO, GIUSEPPE ANTONIO - EP
- Unidade: EP
- Sigla do Departamento: PSI
- Assuntos: HOLOGRAFIA DIGITAL; FOTOLITOGRAFIA
- Idioma: Português
- Resumo: Neste trabalho foram fabricados vários tipos de elementos ópticos difrativos (EODs) a partir de etapas de processos de fabricação de microssistemas, tais como fotolitografia e corrosão por plasma. Para tanto, foram desenvolvidas etapas de processos de fabricação, e foi investigado o emprego de novos materiais, tal como filme fino de carbono amorfo hidrogenado (a:C-H). Dentre os dispositivos fabricados, estão EODs com modulação de fase, de amplitude e de ambos (modulação complexa), operando por transmissão ou por reflexão. Materiais como o silício monocristalino, o dióxido de silício (silica fundida), filme fino a:C-H, polímeros tipo Novolak e polimetilmetacriato (PMMA) foram empregados. A fabricação do EOD com modulação complexa mostrou o sucesso do projeto e implementação de um EOD ainda não reportado na literatura. Este elemento emprega filme a:C-H para modulação da fase e um filme refletivo de alumínio para a modulação da amplitude de uma frente de onda, incidente no dispositivo. Com esta abordagem pode-se obter imagens mais ricas em detalhes, com elevada eficiência e baixo nível de ruído
- Imprenta:
- Data da defesa: 24.05.2002
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ABNT
CIRINO, Giuseppe Antonio. Fabricação de elementos ópticos difrativos empregando processos de microusinagem. 2002. Tese (Doutorado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2002. . Acesso em: 19 abr. 2024. -
APA
Cirino, G. A. (2002). Fabricação de elementos ópticos difrativos empregando processos de microusinagem (Tese (Doutorado). Universidade de São Paulo, São Paulo. -
NLM
Cirino GA. Fabricação de elementos ópticos difrativos empregando processos de microusinagem. 2002 ;[citado 2024 abr. 19 ] -
Vancouver
Cirino GA. Fabricação de elementos ópticos difrativos empregando processos de microusinagem. 2002 ;[citado 2024 abr. 19 ] - Caracterização de plasmas com a técnica de sonda eletrostática
- Full complex-amplitude modulation diffractive optical element
- Fabrication of a continuous parabolic surface relief array using a silicon-based wet-etch micromachining
- Processo de deposição de filme de carbono amorfo hidrogenado, filme de carbono amorfo hidrogenado e artigo revestido com filme de carbono amorfo hidrogenado
- Fabrication of microlens arrays and gratings with a Novolak-type polymer
- Novel full complex-amplitude modulation diffractive optical element
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