Desenvolvimento de um micro detector de condutividade térmica (2002)
- Autores:
- Autor USP: MELMAN, DOUGLAS - EP
- Unidade: EP
- Sigla do Departamento: PSI
- Assuntos: CONDUÇÃO DO CALOR; SISTEMAS MICROELETROMECÂNICOS
- Idioma: Português
- Resumo: Apresenta-se neste trabalho um estudo analítico, numérico e experimental com o objetivo de se desenvolver um micro detector de condutividade térmica, baseado em um sensor calorimétrico. Este microsensor foi construído utilizando-se três filamentos isolados termicamente do substrato de silício, um central que funciona como aquecedor e dois laterais que funcionam como sensores de temperatura. Estes filamentos foram construídos utilizando-se a tecnologia MEMS de fabricação em superfície, com camada sacrificial de óxido de silício e camada estrutural de silício policristalino sobre nitreto de silício. O modelamento teórico foi realizado obtendo-se curvas características de temperatura em função de distância em relação ao aquecedor central. Foram considerados diferentes tipos de gases puros para comparação e também analisou-se a possibilidade de contaminação de um gás de arraste. As análises experimentais, utilizando-se uma ponte de Wheatstone acoplada na saída do microdetector, confirmaram a possibilidade de utilização do dispositivo em estudo na identificação de gases puros e validaram as simulações numéricas. Nossos resultados permitiram portanto, estabelecer uma relevante base teórica e experimental para um futuro aperfeiçoamento e otimização do micro detector de condutividade térmica proposto
- Imprenta:
- Data da defesa: 24.06.2002
-
ABNT
MELMAN, Douglas. Desenvolvimento de um micro detector de condutividade térmica. 2002. Dissertação (Mestrado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 2002. . Acesso em: 23 abr. 2024. -
APA
Melman, D. (2002). Desenvolvimento de um micro detector de condutividade térmica (Dissertação (Mestrado). Universidade de São Paulo, São Paulo. -
NLM
Melman D. Desenvolvimento de um micro detector de condutividade térmica. 2002 ;[citado 2024 abr. 23 ] -
Vancouver
Melman D. Desenvolvimento de um micro detector de condutividade térmica. 2002 ;[citado 2024 abr. 23 ]
Como citar
A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas
