Structural and morphological investigation of amorphous hydrogenated silicon carbide (2001)
- Authors:
- USP affiliated authors: FANTINI, MARCIA CARVALHO DE ABREU - IF ; PEREYRA, INÊS - EP
- Unidades: IF; EP
- DOI: 10.1107/s0021889801007889
- Subjects: CRISTALOGRAFIA FÍSICA; FILMES FINOS; SEMICONDUTORES (FÍSICO-QUÍMICA)
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Publisher place: Copenhagen
- Date published: 2001
- Source:
- Título do periódico: Journal of Applied Crystallography
- ISSN: 0021-8898
- Volume/Número/Paginação/Ano: v. 34, pt. 4, p. 465-472, 2001
- Este periódico é de assinatura
- Este artigo é de acesso aberto
- URL de acesso aberto
- Cor do Acesso Aberto: green
- Licença: other-oa
-
ABNT
PRADO, Rogerio Junqueira et al. Structural and morphological investigation of amorphous hydrogenated silicon carbide. Journal of Applied Crystallography, v. 34, p. 465-472, 2001Tradução . . Disponível em: https://doi.org/10.1107/s0021889801007889. Acesso em: 19 abr. 2024. -
APA
Prado, R. J., Fantini, M. C. de A., Pereyra, I., Odo, G. Y., & Lepienski, C. M. (2001). Structural and morphological investigation of amorphous hydrogenated silicon carbide. Journal of Applied Crystallography, 34, 465-472. doi:10.1107/s0021889801007889 -
NLM
Prado RJ, Fantini MC de A, Pereyra I, Odo GY, Lepienski CM. Structural and morphological investigation of amorphous hydrogenated silicon carbide [Internet]. Journal of Applied Crystallography. 2001 ; 34 465-472.[citado 2024 abr. 19 ] Available from: https://doi.org/10.1107/s0021889801007889 -
Vancouver
Prado RJ, Fantini MC de A, Pereyra I, Odo GY, Lepienski CM. Structural and morphological investigation of amorphous hydrogenated silicon carbide [Internet]. Journal of Applied Crystallography. 2001 ; 34 465-472.[citado 2024 abr. 19 ] Available from: https://doi.org/10.1107/s0021889801007889 - On the nitrogen and oxygen incorporation in plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) SiOxNy films
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Informações sobre o DOI: 10.1107/s0021889801007889 (Fonte: oaDOI API)
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