Deposição de filmes finos de oxinitreto de silício por PECVD (1996)
- Authors:
- USP affiliated authors: FONSECA, FERNANDO JOSEPETTI - EP ; DIRANI, ELY ANTONIO TADEU - EP ; ANDRADE, ADNEI MELGES DE - EP
- Unidade: EP
- Assunto: DISPOSITIVOS DIELÉTRICOS
- Language: Português
- Imprenta:
- Publisher: Sociedade Brasileira de Física
- Publisher place: São Paulo
- Date published: 1996
- Source:
- Título do periódico: Resumos
- Conference titles: Encontro Nacional de Física da Matéria Condensada
-
ABNT
SASSAKI, Carlos Alberto et al. Deposição de filmes finos de oxinitreto de silício por PECVD. 1996, Anais.. São Paulo: Sociedade Brasileira de Física, 1996. . Acesso em: 23 abr. 2024. -
APA
Sassaki, C. A., Fonseca, F. J., Dirani, E. A. T., & Andrade, A. M. de. (1996). Deposição de filmes finos de oxinitreto de silício por PECVD. In Resumos. São Paulo: Sociedade Brasileira de Física. -
NLM
Sassaki CA, Fonseca FJ, Dirani EAT, Andrade AM de. Deposição de filmes finos de oxinitreto de silício por PECVD. Resumos. 1996 ;[citado 2024 abr. 23 ] -
Vancouver
Sassaki CA, Fonseca FJ, Dirani EAT, Andrade AM de. Deposição de filmes finos de oxinitreto de silício por PECVD. Resumos. 1996 ;[citado 2024 abr. 23 ] - Highly conductive n-type MC-Si:H films deposited at very low temperature
- Programa SILICIO: agrupando e correlacionando dados sobre deposição e caracterização de filmes finos de silício hidrogenado
- Charge transport layers in OC1C10-PPV PLEDs
- Low operating voltage of an ITO/MEH-PPV/AI light emmiting device
- Efeito do recozimento sobre o conteudo de H em películas de a-Si:H dopadas por implantação iônica
- Low temperature PECVD deposited amorphous and microcrystalline silicon films
- Low-temperature PECVD deposition of highly conductive microcrystalline silicon thin films
- Raman spectroscopy and AFM analysis of low temperature c: H films
- Improved conductivity in n-type microcrystalline silicon
- Injecting contacts for a Si:H thin film transistors
How to cite
A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas
