Contribuição ao estudo da morfologia da superfície e da interface do silicato de titânio formado sobre Si(100) empregando a técnica de microscopia de força atômica (AFM) (1998)
- Authors:
- USP affiliated authors: ARMANDO ANTONIO MARIA LAGANA - EP ; SANTOS FILHO, SEBASTIAO GOMES DOS - EP
- Unidade: EP
- Subjects: SEMICONDUTORES; CIRCUITOS INTEGRADOS
- Language: Português
- Imprenta:
-
ABNT
HASAN, Nasser Mahmoud e LAGANÁ, Armando Antonio Maria e SANTOS FILHO, Sebastião Gomes dos. Contribuição ao estudo da morfologia da superfície e da interface do silicato de titânio formado sobre Si(100) empregando a técnica de microscopia de força atômica (AFM). . São Paulo: EPUSP. . Acesso em: 24 abr. 2024. , 1998 -
APA
Hasan, N. M., Laganá, A. A. M., & Santos Filho, S. G. dos. (1998). Contribuição ao estudo da morfologia da superfície e da interface do silicato de titânio formado sobre Si(100) empregando a técnica de microscopia de força atômica (AFM). São Paulo: EPUSP. -
NLM
Hasan NM, Laganá AAM, Santos Filho SG dos. Contribuição ao estudo da morfologia da superfície e da interface do silicato de titânio formado sobre Si(100) empregando a técnica de microscopia de força atômica (AFM). 1998 ;[citado 2024 abr. 24 ] -
Vancouver
Hasan NM, Laganá AAM, Santos Filho SG dos. Contribuição ao estudo da morfologia da superfície e da interface do silicato de titânio formado sobre Si(100) empregando a técnica de microscopia de força atômica (AFM). 1998 ;[citado 2024 abr. 24 ] - Estudo da influência dos parâmetros de recozimento térmico rápido na morfologia dos filmes de TiSi2 formados e sua correlação com a tensão
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