Aluminium etching with CC14-N2 plasma (1997)
- Authors:
- Autor USP: VERDONCK, PATRICK BERNARD - EP
- Unidade: EP
- Assunto: CIRCUITOS INTEGRADOS
- Language: Inglês
- Imprenta:
-
ABNT
NAKAZAWA, Angela Makie e VERDONCK, Patrick Bernard. Aluminium etching with CC14-N2 plasma. . São Paulo: EPUSP. . Acesso em: 24 abr. 2024. , 1997 -
APA
Nakazawa, A. M., & Verdonck, P. B. (1997). Aluminium etching with CC14-N2 plasma. São Paulo: EPUSP. -
NLM
Nakazawa AM, Verdonck PB. Aluminium etching with CC14-N2 plasma. 1997 ;[citado 2024 abr. 24 ] -
Vancouver
Nakazawa AM, Verdonck PB. Aluminium etching with CC14-N2 plasma. 1997 ;[citado 2024 abr. 24 ] - Desenvolvimento de um processo de corrosao de aluminio por plasma de cc14+n2
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