General view of the gas-phase ion chemistry of tetraethylorthosilicate (teos) and tetraemethylorthosilicate (tmos) (1995)
- Authors:
- USP affiliated authors: NIGRA, JOSE MANUEL RIVEROS - IQ ; SILVA, MARIA LUCIA PEREIRA DA - EP
- Unidades: IQ; EP
- Assunto: CIRCUITOS INTEGRADOS
- Language: Inglês
- Imprenta:
- Publisher: Instituto de Informatica da Ufrgs
- Publisher place: Porto Alegre
- Date published: 1995
- Source:
- Título do periódico: Proceedings
- Conference titles: Congress of the Brazilian Microelectronics Society
-
ABNT
SILVA, Maria Lucia Pereira da e RIVEROS, José Manuel. General view of the gas-phase ion chemistry of tetraethylorthosilicate (teos) and tetraemethylorthosilicate (tmos). 1995, Anais.. Porto Alegre: Instituto de Informatica da Ufrgs, 1995. . Acesso em: 19 abr. 2024. -
APA
Silva, M. L. P. da, & Riveros, J. M. (1995). General view of the gas-phase ion chemistry of tetraethylorthosilicate (teos) and tetraemethylorthosilicate (tmos). In Proceedings. Porto Alegre: Instituto de Informatica da Ufrgs. -
NLM
Silva MLP da, Riveros JM. General view of the gas-phase ion chemistry of tetraethylorthosilicate (teos) and tetraemethylorthosilicate (tmos). Proceedings. 1995 ;[citado 2024 abr. 19 ] -
Vancouver
Silva MLP da, Riveros JM. General view of the gas-phase ion chemistry of tetraethylorthosilicate (teos) and tetraemethylorthosilicate (tmos). Proceedings. 1995 ;[citado 2024 abr. 19 ] - Gas-phase nucleophilic reactions in tetraalkoxysilanes
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