Estudo do comportamento da corrosao de silicio com adicao de s'F IND.6' e 'O IND.2' ao plasma c'BR''F IND. 3' (1992)
- Autores:
- Autor USP: MACIEL, HOMERO SANTIAGO - EP
- Unidade: EP
- Assunto: SEMICONDUTORES
- Idioma: Português
- Imprenta:
- Fonte:
- Título do periódico: Resumos
- Nome do evento: Congresso de Aplicacoes de Vacuo Na Industria e Na Ciencia
-
ABNT
YAMAMOTO, R K e MACIEL, H. S. Estudo do comportamento da corrosao de silicio com adicao de s'F IND.6' e 'O IND.2' ao plasma c'BR''F IND. 3'. 1992, Anais.. Campinas: Unicamp, 1992. . Acesso em: 18 abr. 2024. -
APA
Yamamoto, R. K., & Maciel, H. S. (1992). Estudo do comportamento da corrosao de silicio com adicao de s'F IND.6' e 'O IND.2' ao plasma c'BR''F IND. 3'. In Resumos. Campinas: Unicamp. -
NLM
Yamamoto RK, Maciel HS. Estudo do comportamento da corrosao de silicio com adicao de s'F IND.6' e 'O IND.2' ao plasma c'BR''F IND. 3'. Resumos. 1992 ;[citado 2024 abr. 18 ] -
Vancouver
Yamamoto RK, Maciel HS. Estudo do comportamento da corrosao de silicio com adicao de s'F IND.6' e 'O IND.2' ao plasma c'BR''F IND. 3'. Resumos. 1992 ;[citado 2024 abr. 18 ] - Estudo da influencia da potencia de rf aplicada ao catodo em filmes finos de titanio e cobalto depositados por sputtering
- Plasmas frios: aspectos de aplicacoes tecnologicas
- Efeito do confinamento magnetico multidipolo em plasma gerado por descarga d c
- Deposicao de carbono pirolitico, via processo de deposicao de vapor quimico assistido a plasma de metano , sobre substratos de carbono vitreo
- Filmes finos de materiais organicos por polimerizacao a plasma via descarga de microondas
- Estudo por microscopia eletronica de varredura do perfil de corrosao de silicio obtido com plasma de cbrf3
- Corrosao anisotropica de silicio com plasma de cbrf3 para obtencao de trincheiras
- Plasma enhanced chemical vapor infiltration for carbon / carbon composite manufacture
- Corrosao de trincheiras em silicio com plasma de c'BR''F IND.3'
- Analise de um jato de plasma de argonio com uma sonda de langmuir direcional
Como citar
A citação é gerada automaticamente e pode não estar totalmente de acordo com as normas
