Caracterização de super-redes semicondutoras amorfas por difração de raios x (1995)
- Autores:
- Autor USP: VELASQUEZ, ELVIRA LETICIA ZEBALLOS - IF
- Unidade: IF
- Sigla do Departamento: FAP
- Assuntos: MATÉRIA CONDENSADA; SEMICONDUTORES
- Idioma: Português
- Resumo: Neste trabalho foram investigados dois sistemas de multicamadas de semicondutores amorfos, a-'SI':h/'SI IND.1-X''C IND.X':h e a-'SI':h/a-'GE':h, crescidos pela tecnica de plasma enhanced chemical vapor deposition (pecvd). A difracao de raios x a baixo angulo (saxrd) foi a tecnica utilizada para estudo das propriedades estruturais destas super-redes. Os objetivos deste trabalho foram: a) determinar as propriedades estruturais destes sistemas, no que tange a periodicidade da super-rede, uniformidade em espessura e tipo de interface; b) desenvolver modelos teoricos de simulacao das intensidades difratadas; e c) avaliar o processo de difusao e cristalizacao dos componentes das multicamadas, atraves de tratamentos termicos. As multicamadas de a-'SI':h/a-'SI IND.1-X''C IND.X':h foram crescidas variando-se dois parametros de deposicao: a concentracao de metano na mistura gasosa e o tempo de plasma etching de hidrogenio entre deposicoes consecutivas. A combinacao dos resultados de espectroscopia de eletrons auger (aes) e saxrd permitiram avaliar a espessura das interfaces. Interfaces mais abruptas foram obtidas em sistemas crescidos sobre uma camada buffer, tempos de plasma etching de hidrogenio de, pelo menos, 2min, e camadas de a-'SI IND.1-X''C IND.X':h crescidas com mais alta concentracao de 'CH IND.4' na mistura gasosa e em condicoes de baixo fluxo de silano
- Imprenta:
- Data da defesa: 05.07.1995
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ABNT
VELASQUEZ, Elvira Leticia Zeballos. Caracterização de super-redes semicondutoras amorfas por difração de raios x. 1995. Tese (Doutorado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 1995. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/43/43133/tde-12072013-154933/. Acesso em: 24 abr. 2024. -
APA
Velasquez, E. L. Z. (1995). Caracterização de super-redes semicondutoras amorfas por difração de raios x (Tese (Doutorado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/43/43133/tde-12072013-154933/ -
NLM
Velasquez ELZ. Caracterização de super-redes semicondutoras amorfas por difração de raios x [Internet]. 1995 ;[citado 2024 abr. 24 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/43/43133/tde-12072013-154933/ -
Vancouver
Velasquez ELZ. Caracterização de super-redes semicondutoras amorfas por difração de raios x [Internet]. 1995 ;[citado 2024 abr. 24 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/43/43133/tde-12072013-154933/
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