Tese

Caracterização de super-redes semicondutoras amorfas por difração de raios x (1995)

• Authors:
  • Velasquez, Elvira Leticia Zeballos
  • Fantini, Márcia Carvalho de Abreu (Orientador)
• Autor USP: VELASQUEZ, ELVIRA LETICIA ZEBALLOS - IF
• Unidade: IF
• Sigla do Departamento: FAP
• Subjects: MATÉRIA CONDENSADA; SEMICONDUTORES
• Language: Português
• Abstract: Neste trabalho foram investigados dois sistemas de multicamadas de semicondutores amorfos, a-'SI':h/'SI IND.1-X''C IND.X':h e a-'SI':h/a-'GE':h, crescidos pela tecnica de plasma enhanced chemical vapor deposition (pecvd). A difracao de raios x a baixo angulo (saxrd) foi a tecnica utilizada para estudo das propriedades estruturais destas super-redes. Os objetivos deste trabalho foram: a) determinar as propriedades estruturais destes sistemas, no que tange a periodicidade da super-rede, uniformidade em espessura e tipo de interface; b) desenvolver modelos teoricos de simulacao das intensidades difratadas; e c) avaliar o processo de difusao e cristalizacao dos componentes das multicamadas, atraves de tratamentos termicos. As multicamadas de a-'SI':h/a-'SI IND.1-X''C IND.X':h foram crescidas variando-se dois parametros de deposicao: a concentracao de metano na mistura gasosa e o tempo de plasma etching de hidrogenio entre deposicoes consecutivas. A combinacao dos resultados de espectroscopia de eletrons auger (aes) e saxrd permitiram avaliar a espessura das interfaces. Interfaces mais abruptas foram obtidas em sistemas crescidos sobre uma camada buffer, tempos de plasma etching de hidrogenio de, pelo menos, 2min, e camadas de a-'SI IND.1-X''C IND.X':h crescidas com mais alta concentracao de 'CH IND.4' na mistura gasosa e em condicoes de baixo fluxo de silano
• Imprenta:
  • Publisher place: São Paulo
  • Date published: 1995
• Data da defesa: 05.07.1995


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How to cite

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• ABNT

  VELASQUEZ, Elvira Leticia Zeballos. Caracterização de super-redes semicondutoras amorfas por difração de raios x. 1995. Tese (Doutorado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 1995. Disponível em: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/43/43133/tde-12072013-154933/. Acesso em: 23 abr. 2024.

• APA

  Velasquez, E. L. Z. (1995). Caracterização de super-redes semicondutoras amorfas por difração de raios x (Tese (Doutorado). Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/43/43133/tde-12072013-154933/

• NLM

  Velasquez ELZ. Caracterização de super-redes semicondutoras amorfas por difração de raios x [Internet]. 1995 ;[citado 2024 abr. 23 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/43/43133/tde-12072013-154933/

• Vancouver

  Velasquez ELZ. Caracterização de super-redes semicondutoras amorfas por difração de raios x [Internet]. 1995 ;[citado 2024 abr. 23 ] Available from: http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/43/43133/tde-12072013-154933/

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