Aspectos da formação do siliceto de titânio em ambiente de nitrogênio: transformações de fase, cinética, formação em duas etapas e rugosidade (1994)
- Autores:
- Autor USP: LAGANA, ARMANDO ANTONIO MARIA - EP
- Unidade: EP
- Sigla do Departamento: PEE
- Assunto: ENGENHARIA ELÉTRICA
- Idioma: Português
- Resumo: O objetivo foi estudar a formação do siliceto de titânio abrangendo diversos aspectos como: transformações de fases envolvidas, cinética, formação em duas etapas em ambiente de nitrogênio visando sua aplicação na estrutura salicide e estudo da influência da taxa de subida da temperatura na rugosidade do siliceto de titânio. Os recozimentos foram realizados por rtp. Foram utilizadas as técnicas de rbs, xrd, afm e sem. Obtivemos silicetos a partir da deposição de 150 nanômetros de titânio e recozimentos que variaram entre 557°C. Entre 500 e 600°C prevaleceram fases mais ricas em titânio; a 650°C com tempos superiores a 64 segundos predomina a fase de siliceto de titânio C49; no intervalo entre 110 e 225 segundos ocorre a transformação de fase do siliceto de titânio C49 para o C54. Na formação do siliceto em duas etapas em ambiente de nitrogênio, verificamos que quando a primeira etapa é realizada a 700°C por 60 segundos, obtemos após o segundo recozimento realizado a 900°C valores mais baixos para a resistência por quadrado. A redução da taxa de subida da temperatura causou uma diminuição significativa da rugosidade indicando que o número de nucleação ocorrida foi maior. A presença de oxigênio no ambiente de recozimento pode também diminuir a rugosidade.
- Imprenta:
- Data da defesa: 21.12.1994
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ABNT
LAGANÁ, Armando Antonio Maria. Aspectos da formação do siliceto de titânio em ambiente de nitrogênio: transformações de fase, cinética, formação em duas etapas e rugosidade. 1994. Tese (Doutorado) – Universidade de São Paulo, São Paulo, 1994. . Acesso em: 19 abr. 2024. -
APA
Laganá, A. A. M. (1994). Aspectos da formação do siliceto de titânio em ambiente de nitrogênio: transformações de fase, cinética, formação em duas etapas e rugosidade (Tese (Doutorado). Universidade de São Paulo, São Paulo. -
NLM
Laganá AAM. Aspectos da formação do siliceto de titânio em ambiente de nitrogênio: transformações de fase, cinética, formação em duas etapas e rugosidade. 1994 ;[citado 2024 abr. 19 ] -
Vancouver
Laganá AAM. Aspectos da formação do siliceto de titânio em ambiente de nitrogênio: transformações de fase, cinética, formação em duas etapas e rugosidade. 1994 ;[citado 2024 abr. 19 ] - Contribuições a uma tecnologia n-mos com carga em depleção e porta metalica, e projeto de uma fonte de autopolarização
- Estudo da cinetica de formacao do siliceto de titanio
- Formação do siliceto de titânio em duas etapas em ambiente de nitrogênio
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